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透射電鏡原位MEMS加熱/電學測量系統，透射電子顯微鏡是可以在較高時間分辨率下得到原子級空間分辨率。透射電子顯微鏡原位加熱/電學測量系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學測量芯片。微加熱芯片可對樣品進行可控溫度的加熱，電學測量芯片可對樣品進行電性質測量。并可在進行加熱和電學測量的同時，動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征，*地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領域。

       本系統硬件包括兩部分，分別是加熱/電學測量控制器、原位MEMS芯片樣品桿。軟件包括自動控溫軟件和自動電學測量軟件。

性能指標

透射電子顯微鏡指標：

● 兼容型號電鏡及極靴；

● 單傾可選高傾角版本；

● 可選雙傾版本，β角傾轉±25°（同時受限于極靴）；

● 測量電極數可選。

電學測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元；

● 電壓輸出大±200 V，小±100 nV；

● 電流測量大±1.5 A，小100 fA；

● 恒壓或者恒流模式；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

加熱與溫控指標：

● 溫度控制范圍：室溫到1200 ℃；

● 加熱功率：大30 W；

● 控溫穩定性：優于±0.1 ℃；

● 大升溫速率：1000 ℃/ms。