該離子泵具有三種元件類型。二極離子泵元件適用于通用的 UHV 和 XHV 應用，在此應用中氫氣抽速至關重要，系統很少排氣或發生空氣泄漏。三極離子泵適可處理大量惰性氣體（優于改進型二極離子泵更好）和氫氣（與二極離子泵相當）。三極離子泵對甲烷、氬氣和氦氣同樣具有很高的抽速和容量。改進型二極離子泵元件適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用 UHV 和 XHV 應用。

產品參數

產品特點

·配備三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，為不同氣體提供抽速

·配備 ConFlat 8 英寸非旋轉型法蘭、額外 8 英寸 ConFlat 孔、雙法蘭和側孔，可選不同方向的真空穿導件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）。

·無活動部件，確保在高靈敏度應用中無振動運行。

·低漏電流可提供穩定的真空壓力讀數。

·低磁場可減少系統干擾。

·在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性。

·可定制不同的高壓真空穿導件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學擋板。外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求。

產品尺寸

產品選型