PicoFemto掃描電鏡SEM原位光電力一體化系統原位掃描電鏡光電力一體化系統集成了掃描探針控制單元，可在三維空間內對電學探針與光纖探針進行亞納米級別精度的操縱與定位。通過電學探針施加電場，通過光纖施加光場，對單個納米結構進行操控并進行電學性質、光電性質的測量。并可在物性測量的同時，動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征，大大地擴展了掃描電鏡的功能與應用領域。

PicoFemto掃描電鏡SEM原位光電力一體化系統性能指標：

電學測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元；

● 電流測量大±1.5 A，小±100 fA；

● 電壓輸出大±200 V，小±100 nV；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

掃描探針操作指標：

● 粗調范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 細調范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 細調分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纖指標：

● 光纖外徑250 um，保證電鏡系統真空指標；

● 可選光纖探針、平頭光纖、光纖透鏡；

● 可選SMA接頭、FC接頭。

力學傳感器指標：

● 大載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力測量實測噪聲優于5nN（0.1 mN大載荷時）；

● 力測量實測分辨率優于5 nN（0.1 mN大載荷時）；

● 自動測量力-距離曲線，自動保存。