PIEZOSYSTEM  緊湊型納米定位測量器

HS1H是一款緊湊型納米定位器，可以組合成2軸甚至3軸納米定位系統。它提供 10、30、50、70 或 100μm 的運動范圍，

中心孔徑為 33 mm，是光學顯微鏡應用的理想選擇。由于采用直接驅動結構，它具有特別快的步進響應時間。

該納米定位器是我們高速產品線的一部分（提供高功率控制器）。

PIEZOCONCEPT

運動范圍 Z （μm） 100 - 200 - 300 - 500

速度標準

孔徑 128.5 x 86.5 mm

“孔板尺寸"

PiezoCconcept 納米定位系統HS1.10具有10µm的運動范圍和0.01nm的分辨率，適用于需要較大運動范圍和高分辨率的

場合。而納米定位系統Z-STAGE.10則針對小范圍內的微小運動，同樣具有0.01nm的分辨率，適用于對精確位置控制要求較

高的情況。

PiezoCconcept硅傳感器則提供了閉環控制，并具有皮米級別的分辨率，可以實現更精確的運動控制。這些部件通過轉

接板連接到模擬控制器，實現對系統的全面控制和調節。

孔板尺寸為128.5 x 86.5毫米，

PiezoCconcept納米定位系統HS1.10和Z-STAGE.10提供了不同范圍的運動，分辨率達到了驚人的0.01納米級別。這對于需要高精度定位的應用來說是至關重要的。硅傳感器的閉環控制和皮米級別的分辨率進一步增強了系統的精確性。

PIEZOSYSTEM  緊湊型納米定位測量器