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kocosWATOM晶片邊緣輪廓測量儀           kocosWATOM晶片邊緣輪廓測量儀

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晶片邊緣和缺口輪廓測量

在半導體工業中使用越來越小的式樣，需要越來越*的高質量材料。為了應對晶片質量的穩步提高，KoCoS自動化公司開發了WATOM，這是一種晶片邊緣和缺口輪廓測量工具，預示著極其精確的晶圓幾何測量的新時代。

WATOM支持在整個晶圓制造過程中的質量保證，從一開始就一直持續到晶圓回收。

WATOM邊緣和Notch晶片幾何學分析儀將高質量標準和一服務相結合，為半導體晶片制造中幾何測量的質量保證設定了基準。這些高精度的、基于激光的邊緣輪廓測量工具是專門為半導體行業中的生產線的佳集成而設計的。