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化學機械拋光液制備設備主要用于CMP（化學機械拋光液）（包括基于氧化硅納米顆粒的拋光液、氧化鈰納米顆粒的拋光液、碳化硅化學機械拋光液、氧化鋁體系和硅溶膠體系的超精密加工類化學機械拋光液）的分散和各種微納米材料、新能源材料、無機阻燃劑等的破碎、分散、分級、改性等。
化學機械拋光液制備設備的特點：
經過測試的工藝路線，已經實現量產
智能控制，實時監測，完整數據存儲，直觀顯示圖表
轉速可調，溫度可控，超聲波強度可調，可定時
操作方便簡潔，清洗容易
技術參數：
Items | 實驗型Experiment Type | 生產型Production Type |
溫度Temperature（℃） | -30℃~80℃ | -20℃~80℃ |
分散方式Dispersion Type | 連續式continuous | 連續式continuous |
材質Material quality | 玻璃、不銹鋼、鈦 glass or stainless steel | 不銹鋼、鈦stainless steel |
規格Specification | 依容積depend on volume | 定制customized |
流量Flow rate | 50~1000ml/min | 可定制customized |
介質粘度media viscosity | ≤104cP | ≤104cP |
攪拌轉速agitation speed | 500~3000rpm依實際需求選擇 | 500~3000rpm依實際需求選擇 |
剪切轉速agitation speed | 1400~20000rpm依實際需求選擇 | 1400~12000rpm依實際需求選擇 |
電源Power | 220V/50Hz | 220V/50Hz 、380V/50Hz |
超聲功率Ultrasonic power | 200~3000W | 定制customized |
超聲頻率Ultrasonic Frequency | 20KHz、28KHz、40KHz、68KHz | 20KHz、28KHz、40KHz、68KHz |
顯示方式Display model | 數顯、液晶觸摸屏digital display,LCD touch screen 依據需要可選擇 | 液晶觸摸屏LCD touch screen |
其它Others | 溫度、功率可調Temperature、power adjustment | |
