2130X000X0C高精度電容式位移傳感器校準(zhǔn)方法ME2-6-M-B02C-1-4-D

ME2-6-M-B02C-1-4-D光譜共焦位移傳感器的基本原理,分析了軸向色散與玻璃材料及波長之間的的關(guān)系,使用ZEMAX光學(xué)設(shè)計仿真軟件的多重結(jié)構(gòu)功能,設(shè)置評價函數(shù)操作數(shù)進(jìn)行優(yōu)化得到了一個鏡頭組。鏡頭組采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu),在486～656nm波長范圍內(nèi),色散范圍約為1mm,各個單色波長在其焦點(diǎn)位置產(chǎn)生大的RMS半徑為1.552μm且達(dá)到衍射極限,同時波長色散離焦量與波長之間通過線性擬合所得判定系數(shù)R~2為0.9976,理論分辨率為5nm,鏡頭在產(chǎn)生大的色散范圍同時也擁有著良好的線性性。 設(shè)計了一種新型加工誤差采集與統(tǒng)計分析平臺。使用電渦流位移傳感器,輔以MATLAB軟件,利用數(shù)據(jù)采集工具箱進(jìn)行工件尺寸的自動測量,借助強(qiáng)大的數(shù)值計算能力和的圖形用戶界面功能,完成加工誤差統(tǒng)計分析中大量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計、分析、計算、復(fù)雜圖形的繪制等工作數(shù)據(jù)處理,實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)以及結(jié)果的可視化。設(shè)計檢測平臺的機(jī)械結(jié)構(gòu),通過實(shí)驗驗證平臺可靠性

2130X000X0C高精度電容式位移傳感器校準(zhǔn)方法ME2-6-M-B02C-1-4-D

ME2-6-M-B02C-1-4-D剛性罐道間距和接頭的檢測對礦井井筒裝備的預(yù)防性維護(hù)具有重要意義。基于虛擬儀器技術(shù)構(gòu)建剛性罐道間距及接頭檢測系統(tǒng),闡述了測試系統(tǒng)的定位原理,分析了罐道水平間距偏差、接頭間隙和錯位大小的測量原理;完成了系統(tǒng)硬件選型和軟件設(shè)計工作。經(jīng)煤礦現(xiàn)場試驗表明,該測試系統(tǒng)能滿足剛性罐道間距及接頭狀態(tài)的測量要求。 為實(shí)現(xiàn)對導(dǎo)軌型面的快速自動化測量,研究一種基于激光三角位移傳感器測距的檢測方法,提出離散性測量滾動直線導(dǎo)軌副導(dǎo)軌型面精度的測量方法。該方法通過激光三角位移傳感器掃描直線導(dǎo)軌各個截面輪廓,設(shè)計相應(yīng)算法對截面輪廓數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,并分析補(bǔ)償測量過程中產(chǎn)生的誤差,計算導(dǎo)軌截面輪廓滾道的圓心坐標(biāo)和半徑,以此取得直線導(dǎo)軌滾道半徑、滾道中心軸線間的距離及滾道中心軸線相對導(dǎo)軌基準(zhǔn)面的平行度。后設(shè)計了標(biāo)準(zhǔn)圓棒的測量試驗和直線導(dǎo)軌橫截面測量試驗,對比分析測量結(jié)果,驗證直線導(dǎo)軌型面精度檢測方案的可行性和穩(wěn)定性。