化工儀器網
詳細介紹
日本進口OKKSG大宮工業晶圓移載機OTS-15
OTD-25
OTD-35
特點
粒子生成預防
電機驅動可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結構
我們*的晶圓夾頭結構可抑制晶圓輸送過程中的晃動，確保轉移到石英船，并準確、安全地運輸重物，如化合物晶圓
特點
粒子生成預防
電機驅動可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結構
我們*的晶圓夾頭結構可抑制晶圓輸送過程中的晃動，確保轉移到石英船，并準確、安全地運輸重物，如化合物晶圓
| 類型表達式 | OTS-15  （獨立） | OTD-25  （桌面類型） | OTD-35  （桌面類型） |
|---|---|---|---|
| 步進數 | I. 舞臺 （盒式×1） | II 階段 （盒式× 1， 船× 1） | III 階段 （盒式× 2， 船× 1） |
| 驅動系統 | 電機驅動（伺服） | ||
| 轉移格式 | 1ca 異種盒間移載 | 1ca to 1bt 雙向移載 | 2ca to 1bt 雙向移載 |
| 轉移 斯皮德 | Min40秒 + 盒式交換時間 | Min50 秒（可調節） | Min90 秒（可調節） |
| 設備尺寸 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
| 安全機制 | 盒有無、晶片有無、過載檢測、異常警報、緊急停止 | ||
| 電源 | AC200V（50/60Hz） | ||
日本進口OKKSG大宮工業晶圓移載機OTS-15
半導體和零件制造設備
旋轉干燥機它是一種通過旋轉產生的離心力和吸入氣流的作用來
干燥晶圓上的水滴和水分的裝置。
晶圓移載機將晶圓從載體或載體雙向傳輸到
船的設備。
托架清洗機晶圓載體和載體盒的
清潔和干燥設備。
晶圓安裝器具有層壓機和安裝器兩種
功能的膠帶貼片裝置。
BG 膠帶層壓機用于粘貼用于表面保護的背磨
膠帶的自動設備。
磁帶刪除器使用剝離膠帶剝離保護膜（如晶圓或貼在基板上的 BG 膠帶）的設備。
紫外線照射機UV 固化膠帶/薄膜的紫外線照射和
固化設備。
晶圓擴展器它是一種晶圓擴展裝置，只需輕輕一觸，即可嵌入夾持環并
切割膠帶。
化工儀器網