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MPCS-100渦輪分子泵組產品介紹
MPCS-100渦輪分子泵組可為物理吸附儀、化學吸附儀等多類儀器提供1×10-6Pa的極限真空度,無需單獨配置分子泵控制器,并加入*的真空監測與泵組工作調節裝置
■ 儀器性能優勢
1. 無需單獨購置控制器
2. 渦輪分子泵的出入口壓力值可監測
3. 擁有前后級工作調節裝置,避免前級泵反油對渦輪分子泵的影響
4. 泵組的工作全部智能控制,無需人員介入
5. *的法蘭連接結構,有效提高入口氣密性
■ 產品應用*技術
1. *的智能控制系統
采用彼奧德研發團隊提供的MPCS控制系統,通過對各關鍵點的壓力及工作狀態監控,有效的對泵組各部分工作狀態進行調節和控制,并有效提高泵的工作效率及使用壽命
2. 應用*的法蘭結構
3. 前級泵與渦輪分子泵配置調節裝置
· 技術參數
· 極限真空:1×10-6Pa
· 前級泵抽速:采用I-PID技術可調
· 供電系統:與MPCS控制系統集成
· 控制系統:采用MPCS控制系統,可智能控制并有效
· 協調前后級工作狀態
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