半導體微量光子檢測顯微鏡

半導體微量光子檢測顯微鏡

產品特征參數

軟件圖像處理功能

8寸高壓手動氣浮探針臺

紫外、可見光、紅外顯微光學系統

2倍、5倍、10倍、20倍與50倍紅外物鏡

400 -1000 nm 或900-1700 nm響應波長

支持3000 V高壓偏置

相機與源表的一體化控制程序

應用方向

GaN與SiC 基功率器件

的漏電“熱點"定位

GaN基LEDs與結型探測

器的漏電“熱點"定位

Si基MOSFET與IGBT等功

率器件的漏電失效“熱

點"定位

GaAs基激光器光分布與

漏電“熱點"定位

常規的器件的靜態電學

參數測試。

相關系列有關于芯片失效與缺陷檢測都可以聯系我司，可看樣機測試