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X熒光分析儀的檢測(cè)器的種類及原理

閱讀:3599      發(fā)布時(shí)間:2020-8-20
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X射線檢測(cè)器又稱探測(cè)器,是種能量轉(zhuǎn)換器,能對(duì)光子進(jìn)行計(jì)數(shù)。在與光電子作用時(shí),它可以儲(chǔ)存每次入射光子的全部能量。光子流越弱,檢測(cè)器工作的精度越高。目前常用的射線檢測(cè)器有氣體能量轉(zhuǎn)化器、半導(dǎo)體能量轉(zhuǎn)換器和閃爍計(jì)數(shù)器。

 

 一、氣體能量轉(zhuǎn)化器

氣體能量轉(zhuǎn)化器也稱充氣型正比計(jì)數(shù)器(gas proportion counter PC),分為氣流型和封閉型兩種,氣流型適用于輕元素的檢測(cè),而封閉型常用于高原子序數(shù)的元素,探測(cè)波長(zhǎng)較長(zhǎng)。以波長(zhǎng)色散譜儀為例,氣流型和封閉型充Xe氣的正比計(jì)數(shù)管常常串聯(lián)使用以提高Ti ~ CuK系線和La ~ WL系線的靈敏度。氣流型正比計(jì)數(shù)管通常用90%氬氣和10%甲烷混合氣體,其中甲烷起猝滅作用。對(duì)于原子序數(shù)很低的元素也可以用96%氦氣和4%丁烷混合氣體。封閉型正比計(jì)數(shù)管則可分別充氖、氪和氙氣。

 

二、閃爍計(jì)數(shù)器

閃爍計(jì)數(shù)器適用于重元素的檢測(cè)。閃爍計(jì)數(shù)器結(jié)構(gòu)是由一片用tuo激活的且密封于Be窗口的dianhuana晶體和光電倍增管組成。當(dāng)一入射X射線光子被Na晶體吸收時(shí),便產(chǎn)生若千個(gè)數(shù)量的可見(jiàn)光子(閃爍),可見(jiàn)光子轟擊光電倍增管,產(chǎn)生光電流。因此,每個(gè)入射X射線光子能在光電倍增管的輸出端形成一個(gè)很大的脈沖電流。

 

閃爍計(jì)數(shù)器用于測(cè)量大于6kcVX射線,對(duì)于低于6keVX射線光子,由于光電倍增管極的噪聲脈沖較大,對(duì)弱光子脈沖的檢測(cè)會(huì)很困難。在閃爍計(jì)數(shù)器前附加一個(gè)氣體正比計(jì)數(shù)器構(gòu)成復(fù)合檢測(cè)器,這時(shí)長(zhǎng)波長(zhǎng)的X射線用正比計(jì)數(shù)器檢測(cè),短波長(zhǎng)的X射線則由閃爍計(jì)數(shù)器檢測(cè)。閃爍計(jì)數(shù)器裝在氣體正比計(jì)數(shù)器旁邊,縮短了它與晶體之間的距離達(dá)三倍,有效地提高了靈敏度,

 

三、半導(dǎo)體能量轉(zhuǎn)換器

能量色散熒光光譜儀通常采用半導(dǎo)體能量轉(zhuǎn)換器。硅中摻入少量的其他元素可形成晶體二極管。當(dāng)探測(cè)器加上300~400V的電壓時(shí),無(wú)電流通過(guò)。當(dāng)一個(gè)X射線光子射到探測(cè)器上并被吸收時(shí),則形成若干電子空穴對(duì)。電子和空穴分別迅速移向表層和底層而形成一個(gè)電脈沖。這種探測(cè)器的實(shí)際分辨率受電子噪聲和熱噪聲的限制,通過(guò)采用低溫冷卻技術(shù)和半導(dǎo)體制造工藝的改進(jìn),提高它的實(shí)際分辨率。

 

探測(cè)器的分辨率與入射X射線能量有關(guān),計(jì)算探測(cè)器理論分辨率的公式為:

 

R=Fn1/2

 

FFano常數(shù),對(duì)于氣體正比計(jì)算器,n是指每個(gè)入射光子產(chǎn)生的初級(jí)電子數(shù),對(duì)于閃爍計(jì)數(shù)器,n是指光電倍增管級(jí)所收集到的光電子數(shù)。

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