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貨物所在地：國(guó)外
更新時(shí)間：2025-02-21 08:37:52
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稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM；
源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM；
4路校準(zhǔn)氣入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口
稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)；
源氣入口：4路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃；
稀釋氣質(zhì)量流量控制：0-10SLM（0-20SLM可選）；
源氣氣質(zhì)量流量控制：0-100SCCM/0-2SLM；
流量精度：≤±1%FS；
流量重復(fù)：≤±0.15%FS；
線 性：≤±0.5%FS；
入口壓力：20-35 PSIG；
多路輸出：標(biāo)準(zhǔn)6個(gè)輸出口；
可選件：內(nèi)置臭氧發(fā)生器
5SLPM下0.05-1.5ppm；1%SP或5SLPM下2ppb
紫外吸收光度計(jì)
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm
內(nèi)置滲透管氣體發(fā)生器
內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù)：
輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb；
流量：100±1 SCCM；
內(nèi)置紫外吸收光度計(jì)參數(shù)：
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；
線性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb；
內(nèi)置滲透爐參數(shù)：
材質(zhì)：玻璃或特氟龍；
內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù)：
輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb；
流量：100±1 SCCM；
內(nèi)置紫外吸收光度計(jì)參數(shù)：
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；
線性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb；
內(nèi)置滲透爐參數(shù)：
材質(zhì)：玻璃或特氟龍；
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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