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場發射掃描電子顯微鏡廠家告訴你,場發射掃描電子顯微鏡的基本構造分析

來源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2021年11月23日 13:22  
電子顯微鏡是利用電子束成像的顯微系統,它具有分辨率高,景深大,擴展性強等優點,已經成為研究微觀世界的重要手段之一。電子顯微鏡廣泛的應用于生物農林領域,它可以觀察農作物的根、莖、葉、種子等的表面形貌,也可以觀察細胞、組織等的內部超微結構,還可以進行元素分析。借助強大的擴展附件,電子顯微鏡還具有光電聯用、三維解析等功能。

場發射掃描電子顯微鏡(FESEM)是電子顯微鏡的一種,廣泛用于生物學、醫學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。

場發射掃描電子顯微鏡的基本構造:

電子槍:也稱電子源,產生連續不斷的穩定的電子流。場發射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同,陰極呈桿狀,在它的一端有個極鋒利的尖點(直徑小于100nm),尖端的電場*,電子直接依靠“隧道”穿過勢壘離開陰極,由加速電壓加速產生高速電子流飛向樣品。一般來說,掃描電鏡加速電壓通常為1-30kV。

電子透鏡:將從電子槍發射出來的電子匯聚成直徑最小為1-5nm電子束。

掃描系統:使電子束作光柵掃描運動。



 

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