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氣源檢查檢:查發生器或者氣體鋼瓶是否處于正常狀態;檢查脫水過濾器、活性炭以及脫氧過濾器，定期更換其中的填料。

管線泄漏:檢查定期檢查管線是否泄漏，可使用肥皂沫滴到接口處檢查。

氣化室的維護氣化室包括:進樣室螺帽、隔墊吹掃出口、載氣入口、分流氣出口、進樣襯管

不同的部件有不同的維護方式:進樣室螺帽、隔墊吹掃出口、載氣入口及分流氣出口4個部件需按廠家要求定期清洗:把這幾個部件從氣化室上拆卸下來，放在盛有丙酮溶液的燒杯中浸泡并超聲2小時，晾干后使用;

進樣襯管須定期進行清洗，先用洗液清洗，然后用丙酮溶液浸泡，再用電吹風吹干備用，及時添加石英棉;若有損壞應及時更換。

檢測器的維護:檢測器的收集器、檢測器接收塔、火焰噴嘴、檢測器基部、色譜柱螺帽等處，須用丙酮溶液清洗，一般超聲2小時，至清洗干凈，清洗后用電吹風吹干備用。

柱溫箱的維護:柱溫箱的外殼容積區間。可用脫脂棉蘸乙醇擦洗

維護周期:氣相色譜儀維護周期一般定為3個月。實際工作中可根據儀器工作量和運轉情況適當延長或縮短維護周期。