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東莞品雅專業維修愛德華螺桿真空泵IH600/1000
愛德華真空泵針對不同的行業，推出不同的真空泵配型，不同的行業，由于使用環境和工作運行狀態不同，需要的產品功能不同，因此愛德華真空泵產品類型眾多，沒一款產品都是針對不同的行業使用有著非常明顯的效果，在高真空和超高真空領域有著非常強大的。
愛德華真空泵IH600/IH1000在半導體行業有著廣泛的使用，一般是配合羅茨型真空泵EH2600使用，可以更快的為客戶提供所需真空，同時螺桿真空泵在處理水分和小型顆粒，腐蝕性氣體非常合適。
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性。
行業應用：
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
IH600訂貨號：
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957
愛德華半導體螺桿真空泵IH600參數：
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 極限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 極限功率輸入 | 3.4 kW |
| 電機額定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
IH1000參數：
| 峰值速度 | 1000 m3h-1 |
| 589 cfm | |
| 16670 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 430 kg |
| 極限功率輸入 | 3.8 kW |
| 電機額定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.48 l |
iH1000 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59030957
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