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三維表面檢測儀的全自動測量過程中優異的影像識別能力使得全自動測量成為可能。批量產品的數據可以通過按一個按鈕實現自動測量和自動輸出結果，改變傳統的依靠經驗的手動測量方式，使自動測量的重復性控制在微米級，很大程度地提高檢測水平，促進制造品質的提高。

　　三維表面檢測儀可加裝激光、探針、轉臺等傳感器，實現一個坐標系下的多元傳感的綜合應用，提供復雜測量難題的解決方案。廣泛用于汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業中，可對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務。

　　三維表面檢測儀能用于表面微觀形貌分析的測量系統，按基于不同的物理原理，可將它們分為參數方法和輪廓方法。參數法所產生的參數表示所檢測表面的一些平均性能；而輪廓法逐點掃描獲得形貌信息。輪廓法被認為是可以測量真實的3D形貌，給出相對于位置高度的定量信息。

　　按傳統的分類方式，表面測量又可分為接觸式和非接觸式。觸針式儀器是典型的接觸方法，而光學儀器是非接觸式方法，掃描探針顯微鏡既是接觸式又是非接觸式。

　　光學測量方法主要的問題一直是包含許多的變量，測量參數和表面形貌之間的相關性難以確定。

　　因為光與表面干涉的所有現象都受到表面粗糙度的影響，所以光學方法數量多，如基于反射、繞射、偏振、光斑等研究的方法，橢圓對稱法作為用于在線控制表面粗糙度的潛在工具。