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*日本山武azbil藍寶石隔膜真空計
藍寶石隔膜真空計 SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優異的單晶體藍寶石，通過檢測靜電容量，即使在高溫檢測環境下也能實現高的檢測重復性。
產品簡介
詳細介紹
*日本山武azbil藍寶石隔膜真空計
藍寶石隔膜真空計 SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優異的單晶體藍寶石，通過檢測靜電容量，即使在高溫檢測環境下也能實現高的檢測重復性。
通過*信號處理技術實現了溫度特性、直線性等誤差小的檢測，由微加工技術而形成的藍寶石傳感器實現了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計。
提高品質
真空計多數在有大的壓力環境下使用，是容易因各種原因引起零點漂移的產品。真空計的零點漂移會影響控制量，從而會影響終產品的品質。藍寶石隔膜真空計采用了零點不易漂移的構造。
提高生產性
減少了設備的停機時間。備有用于減少停機避免時間浪費的功能。
改善工藝
改善對以前只能通過壓力信號的變化才能識別的各種信息進行可視化的工藝的客戶作出貢獻。
*日本山武azbil藍寶石隔膜真空計
注意：
▲請在規格書中記載的使用條件(溫度、濕度、電壓、環境等)范圍內使用本機
▲請勿在有爆炸性環境及可燃性液體或蒸汽的環境下使用。
▲連接件、墊片請使用規定的產品,配管后確認無泄漏后再使用。否則有氣體泄漏的危險。
▲請在本機的電源配線上操作者能觸及的范圍內設置主電源切斷用開關
▲請按照本機連線的標準,電源及施工方法,正確接線否則有發生火災,故障的危險請勿讓線頭、切、水等進入本機機殼內部。否則有發生火災、故障的危險
▲請勿堵塞本機的通風孔。否則有發生火災,故障的危險
▲通電中及通電結束后的一段時間內,本機表面會處于高溫。由于有燙傷的危險,請勿觸摸本機拆卸時請在作業前先切斷電源,充分冷卻后再進行作業在設置上有接觸本機可能性的場合,
▲請在自控設計時采取對策。(有自己加熱的機型請在規格中記載的壽命范圍內使用本機的繼電器。超過壽命繼續使用時,會有發生火求,做的危險。
概要
藍寶石隔膜真空計SPG5A/6A采用了藍寶石靜電容量式壓力傳感器的高精度,是具有高可靠性、小型、輕量的隔膜真空計可選擇有自己加熱功能的機型及無自己加熱功能的機型,有自己加熱功能的機型可選擇加熱溫度主要用于半導體工藝流程,本機具有以下的特長
●感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機械特性優異的單晶體藍寶石,通過靜電容量檢測方式,即使在高溫檢測環境下也可實現高的檢測重復性。
●采用*顯微機械加工技術形成的藍寶石傳感器、實現了大幅度的小型、輕量化采用*信號處理技術實現了溫度特性直線性等誤差小的檢測
●通過采用了微處理器的數字PD運算對加熱器進行溫度控制、實現了迅速啟動和穩定的溫度控制。(有自己加熱功能的機型)
●允許寬的輸入電源電壓范圍
●可通過Auto零點調整開關或Up/Down零點調整開關簡單地實施零點調整。
●通過另售的智能編程軟件包SLP-SP5J60可簡單地進行監視及參數的讀寫操作
●備有3個事件繼電器,通過另售的智能編程軟件包SLPSP5J60可簡單地對各功能的設定進行
●變更符合EC指令,符合CE標識(適合規格:EN61326、EN55011)
詳情請見：日本山武azbil藍寶石隔膜真空計