目前，大型空分設備的市場需求日益增長,對配套氣體分析儀器的種類、數量、質量及可靠性等提出了更高要求，空分設備氣體分析儀的合理配置，不但能夠正確地反映工藝狀況的成分量數據，反映某種氣體成分含量的變化趨勢，同時幫助工藝人員操作空分設備時心中有數，起到指導工藝人員操作，調整空分設備達到正常化目標的目的。
在空分設備的生產中，空氣是制取Ar、O2和N2的原料，空氣中大約有0.03%的CO2，由于CO2在低溫下會凝結為固體，引起管路堵塞影響操作，必須除去，故分子篩器出口設置CO2分析儀，控制其含量在1x 10 -6 以下，一般選用NDIR紅外原理的分析儀,量程為CO2 0~10x 10 -6 。氬餾分是制造粗氬的原料氣，掌握氬餾分的成分組成，對調整粗氬塔的正常工作，指導氬塔和主塔的操作十分重要。氬餾分由Ar、O2和N2三種氣體組成。氬餾分中的氬并不是含量越高越好，在氬餾分中氬含量增高的同時，氮含量也會提高，而氮含量的增高會破壞氬塔的正常工作，嚴重時會引起氮塞，所以必須控制好其成分組成。根據工藝計算，氬餾分的組成是Ar 9 %~ 10%；O2約90%；N2 < 100x 10 -6 。氬、氧、氮的相對導熱系數分別為0.685 、1.015 、0.998，氧和氮的相對導熱系數非常接近，并且氮的含量很小，可以忽略，所以從分析原理上也可把氬餾分看作是(Ar，O2)的二組分氣體，而氬和氧的相對導熱系數有較大的差別。熱導式氣體分析儀不受大氣壓力變化的影響，所以分析氬餾分中氬的含量，可采取熱導式原理的氬分析器，其量程可選為0~15% Ar/O2。高純氬(Ar≥99.999%)中的雜質主要有O2、N2 、H2 、CnHm和H2O等，其中H2 、CnHm和H2O工藝本身決定了它們的含量極低，且非常穩定，可以對產品抽檢，而不做在線分析；而O2、N2含量則與工藝操作關系很大，必須在線分析監控。高純氬中的O2、N2一般控制在2x 10 -6 。氬中微量氧分析采用燃料電池式分析儀，氬中微量氮分析采用等離子發射光譜方法，通過對特征光譜的檢測，分析出微量氮氣的濃度。
所以根據空分設備工藝特點，要獲得合格的產品氧、氮和氬必須設置一些在線分析設備，監控空氣中CO2，產品中氧、氮和氬等氣體純度分析。
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