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技術(shù)文章

針對半導(dǎo)體行業(yè)的安捷倫 ICP-MS解決方案

閱讀:839          發(fā)布時間:2023-8-29

單四極桿 ICP-MS Agilent 7900 ICP-MS 在一臺緊湊的臺式單四極桿儀器中實(shí)現(xiàn)了高性能。它是一種 經(jīng)濟(jì)有效的解決方案,適用于測量制程化學(xué)品和低純度材料中的痕量污染。7900  具有處理大多數(shù)半導(dǎo)體樣品類型所需的高性能和靈活性,可配備用于分析納米 顆粒、有機(jī)溶劑和高腐蝕性酸的選件和附件。它是許多半導(dǎo)體公司的常規(guī)分析 儀器。

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串聯(lián)四極桿 ICP-MS Agilent 8900 ICP-MS/MS 是世界上一款真正的串聯(lián)四極桿 ICP-MS ― 支持 MS/MS  和干擾消除能力。 操作的串聯(lián)質(zhì)譜儀,可提供準(zhǔn)確分析最高純度半導(dǎo)體材料所需的靈敏度 8900 #200 配置專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體應(yīng)用,與安捷倫冷等離子體技術(shù)相結(jié) 合,能夠提供靈敏度。穩(wěn)健的等離子體、鉑尖接口錐和可選的惰性 (PFA)  樣品引入系統(tǒng)使其能夠輕松處理甚至最難以分析的半導(dǎo)體樣品和應(yīng)用。 8900  體配置采用: 系統(tǒng)經(jīng)過專門設(shè)計(jì),寬度僅有 1060 mm,可節(jié)省潔凈室臺面空間。其半導(dǎo) 四個氬氣管線質(zhì)量流量控制器和第五條氣體管線,用于增加可選氣體(例如 用于有機(jī)物的 O2/Ar 或用于激光剝蝕的 He 載氣) 預(yù)設(shè)等離子體條件,保證日常每個操作人員的設(shè)置一致 氬氣流路經(jīng)過專門設(shè)計(jì),可減小硅和硫的背景信號,保證檢測限低 50 ng/L 優(yōu)化的接口真空設(shè)計(jì)和新型高傳輸率“s"型離子透鏡,提供了高純度半導(dǎo)體 試劑超痕量分析所需的靈敏度 用于所有典型半導(dǎo)體應(yīng)用的方法、調(diào)諧和采集模板,其中包括用于低基質(zhì)樣 品(如超純水 (UPW) 和過氧化氫)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)冷等離子體模式

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