產品簡介
主要用于LED行業的寶石類晶體,氟化物(氟化鎂,氟化鈣)等晶體是生長制備模塊化設計,結構緊湊,外形美觀,采用底部電動升降或者鐘罩式爐體升降,結構精巧,方便,移動平穩裝卸料方便采用觸摸屏+plc控制方式,自動化程度高,操作直觀,功能強大
詳細介紹
一·爾莫新材料晶體生長爐凝固爐設備用途
主要用于LED行業的寶石類晶體,氟化物(氟化鎂,氟化鈣)等晶體是生長制備
二·爾莫新材料晶體生長爐凝固爐產品特點
1·模塊化設計,結構緊湊,外形美觀,
2·采用底部電動升降或者鐘罩式爐體升降,結構精巧,方便,移動平穩裝卸料方便
3· 采用觸摸屏+plc控制方式,自動化程度高,操作直觀,功能強大。
4· 在觸摸屏內可預存幾十種燒結工藝,一次編輯,以后直接調用使用,省去多次編輯工藝的麻煩,避免輸入錯誤,燒壞產品。
5· 燒結的溫度,真空度,等數據可實時記錄,也可隨時啟動停止記錄,減少無用數據,數據可查詢,可導出下載。
6· 燒結溫度高,用鉬絲發熱體,可達1600℃,石墨發熱體鎢發熱體可達2300℃。
7·自帶水冷機,省去客戶做水路工程的麻煩。
三·爾莫新材料晶體生長爐凝固爐設備配置
1· 設備總功率:10-100kw
2·溫度范圍:800-2300℃
3·加熱方式:石墨加熱,鎢絲加熱 感應加熱
4.測溫系統: 熱電偶 紅外儀
5· 冷態極限真空度:6.67×10E-2Pa(機械泵+羅茨泵) 6.67×10E-3Pa(機械泵+擴散泵)5.0×10E-4Pa(機械泵+分子泵)
6· 壓升率:≦2pa/h
7.坩堝升降行程: 根據晶體生長大小設計。
慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm
慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm
控溫精度: ±0.1℃,采用歐陸溫控儀表
爐內充氣壓力: ≤0.05MPa