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產品簡介
V1000/1000X/1000XS大容量等離子清洗機可變更電極構造提高等離子效果。搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
詳細介紹
日本雅瑪拓V1000/1000X/1000XS大容量等離子清洗機 高頻輸出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
電極尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
13.56MHz 高頻輸出的離子清洗機，搭載 RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據需求規格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
V1000/1000X/1000XS大容量等離子清洗機的技術規格
其他產品介紹：YSP600U/2KU等離子清洗機
高頻輸出 YSP600U：600W YSP2KU：2000W 反應臺尺寸 YSP600U：300×300mm YSP2KU：600×600mm
樣品傳輸系統為模塊式，便于組合。
用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質處理
● 清洗各類基板。
● 電子部品、材料表面改質。
● 去除有機物和自然氧化膜。
特點
● 體積小，節省空間。
● 選用小型腔體，反應效率高。
● 更容易嵌入生產線使用。
● 可通過操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應臺。