安捷倫VacIon Plus離子泵具有從 20 到 75 L/s 的氮氣抽速范圍，并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 （UHV） 系統中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于在恒定的壓力下抽除混合氣體的超高真空應用中，因此非常適用于粒子加速器、同步

中型安捷倫VacIon Plus離子泵具有從 20 到 75 L/s 的氮氣抽速范圍，并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于在恒定的壓力下抽除混合氣體的超高真空應用中，因此非常適用于粒子加速器、同步加速器環和表面分析等應用。設計的 StarCell 是惟一能同時抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以最高速度和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10–8 mbar 或以上壓力下穩定工作的應用。

 

安捷倫VacIon Plus離子泵性能指標：

中型 VacIon Plus 泵	抽氣口法蘭	型號	抽速 (L/s)（在 1–6mbar 壓力下的飽和泵）氮氣	工作壽命（小時）（在 1–6 mbar 壓力下)	重量
VacIon Plus 20	2 3/4 英寸外徑 CFF (NW 35)	Star Cell Noble Diode Diode	20 22 27	80000 50000 50000	凈重 7 (15) 運輸重量 11 (24)

 

外形圖： 

 

技術規格：

Agilent VacIon Plus 20

	StarCell	Noble Diode	Diode
氮氣額定抽速 (*) (L/s)	20	22	27
在 1 × 10–6 mbar壓力下的工作壽命（小時）	80,000	50,000	50,000
最大啟動壓力 (mbar)	≤ 5 × 10–2	≤ 1 × 10–3	≤ 1 × 10–3
極限真空	低于 10-11
抽氣口法蘭	2.75 英寸 CFF (NW 35) AISI 304 ESR SST
最高烘烤溫度 (°C)	350
重量，kg（磅）（帶鐵氧體磁鐵）	凈重 7 (15)，運輸重量 11 (24)

 

(*) 根據 ISO/DIS 3556-1-1992 測試