目錄:廈門超新芯科技有限公司>>樣品臺>>Volcano Series In Situ Stages>> 掃描電鏡高溫原位系統-基礎版
| 分辨率 | 掃描電鏡極限分辨率 |
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高分辨率和可靠性
1．MEMS微加工工藝，加熱芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10nm，可達到掃描電鏡極限分辨率。
優異的熱學性能
1．高精密紅外測溫校正，微米級高分辨熱場測量及校準，確保溫度的準確性。
2．超高頻控溫方式，排除導線和接觸電阻的影響，測量溫度和電學參數更精確。
3．采用高穩定性貴金屬加熱絲（非陶瓷材料），既是熱導材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關系，加熱區覆蓋整個觀測區域，升溫降溫速度快，熱場穩定且均勻，穩定狀態下溫度波動±1℃。
4．采用閉合回路高頻動態控制和反饋環境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差，控溫精度±1 ℃。
5．多級復合加熱MEMS芯片設計，控制加熱過程熱擴散，極大抑制升溫過程的熱漂移，確保實驗的高效觀察。
6．加熱絲外部由氮化硅包覆，不與樣品發生反應，確保實驗的準確性。
| 類別 | 項目 | 參數 |
| 基本參數 | 臺體材質 | 高強度鈦合金 |
| 分辨率 | 掃描電鏡極限分辨率 | |
| 適用電鏡 | ZEISS | |
| EDS/EBSD | 支持 |
Synthetic scheme for thepreparation of ZIF-67 crystalsand GC
SEM images
ZIF-67 after heated
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