透射電鏡液體電化學原位系統是一種集成了透射電鏡(TEM)技術與液體電化學測試環境的設備。
本公司提供的透射電鏡液體電化學原位系統的技術有:
1、采用納流控技術,通過壓電微控系統進行流體微分控制,實現納升級微量流體輸送,原位納流控系統及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別,有效保證電鏡安全。
2、采用高分子膜面接觸密封技術,相比于o圈密封,增大了密封接觸面積,有效減小滲漏風險。
3、采用超高溫鍍膜技術,芯片視窗區域的氮化硅膜具有耐高溫低應力耐壓耐腐蝕耐輻照等優點。
4、多場耦合技術,可在液相環境中實現光、電、熱、流體多場耦合。
該系統的芯片封裝采用鍵合內封以及環氧樹脂外封雙保險方式,使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm,超薄夾層大幅減少對電子束的干擾,可清晰觀察樣品的原子排列情況,液相環境可實現原子級分辨。

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