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在使用真空箱式爐時候發現真空抽不上去了怎么辦?到底是什么原因造成的，可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高？或者兩者兼而有之？需要我們耐心觀察和記錄，從中找出故障原因。
如果真空爐抽空時間相同，而真空度偏低，這時候，關閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。
檢測漏率問題分內漏和外漏；外漏比較好檢測，內漏則難辦些。
外漏較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。
內漏則要從真空爐的不同真空工作區域分區排查，在真空系統達到一定壓力值后，分別啟動卷繞和蒸發系統，觀察真空計的讀數在短暫下降后有無爬升，可以初步判斷內漏點方向。
內漏多發生在有水冷卻點的設備上，在查外漏沒有發現疑點，但是卻有以下現象：機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕等，具備以上條件基本可以推斷內漏，先將腔體清理干凈，再通冷卻水，仔細查看通水管路有無濕潤點，濕潤處就是漏點。
常規的維修可以讓維修人員逐步檢查去做，但如果應急條件下設備出了故障，實驗任務又不能停，這時，只要判斷故障準確，采用手頭上現有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料，只要與在制品不發生沖突，就可以進行修理，應急的原則是在不損壞設備和不影響在實驗材料的情況下做到設備能正常運作。
真空爐在很多時候不是單一部分的問題，這一點讓人難以在故障排查中進行綜合考量，有的是機械裝配中精度不到位造成的，有的是絕緣材料或結構上的問題，這時，不要急于下結論，不要急于拆卸設備，應認真查勘分析故障現象，以及請教設備廠家專業人員，避免誤拆誤卸造成不必要的損失。
