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模塊式主動減振器塊式設計,能適用于更多需要安裝配置的場合,外置控制箱。支撐分為彈簧型和氣浮型,彈簧型主動減振適用于顯微鏡、光學設備、檢測設備等靜態設備。氣浮型主動減振采用地面振動前饋與反饋控制相結合,提供出色的隔振效果;運動前饋與速度反饋控制結合,有效消減平臺運動加速度,快速穩定平臺振動。適用于光刻機等運動平臺設備,消減大質量滑塊運動帶來的振動;半導體設備,及高精度、高速度加速度的精密運動平臺等。
模塊式主動減振器特點:
*安裝方便,接入電源即可使用
*調節水平功能,操作簡便
*模塊化的主動減振器,可根據設備重量和尺寸,制作成各種平臺
*6自由度振動信號實時檢測,執行器提供推力,主動衰減振幅
*實時監控臺面振動