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由于對光纖制造技術的傳統VAD(氣相軸向沉積)方法進行了重大改進,成功開發了合成熔融石英SK-1300系列。 與傳統直接法相比,SK-1300系列純度高,OH含量低得多,因此它是第一種可用于半導體和液晶顯示行業的合成熔融石英。
SK-1300系列在光學特性方面是先進的技術,因為它提供了很高的分辨率紫外線透射,無微夾雜,耐日曬,此外還具有耐熱性、機械強度和耐化學性。 這些產品可用于半導體、光學和所有物理或化學相關研究的各種工業應用。
可用于: 各種器件的晶片,如TFT(多晶硅薄膜晶體管LCD)、SOI(絕緣硅)等;超大規模集成電路和液晶顯示器用光掩模基板;ULSI制造工藝用反應器爐管、夾具和工具;放電管;用于紫外和真紫外的光學元件,透鏡,反射鏡,窗口。
OHARA高質量石英玻璃特點
1. 超高純度(總金屬雜質小于0.5ppm);
2. OH含量可控制在1 ppm或以下((SK-1310);
3. 確保高耐熱性;
4. 實現高傳輸(SK-1310在紫外線、可見光和紅外的整個波長范圍內都具有優異的特性);
5. 不含氣泡或條紋;
6. 優異的抗激光性能
OHARA高質量石英玻璃參數:
等級 | 最大尺寸(mm) | 條紋1) | 均勻性2) | 雙折射2) (nm/cm2) | 氣泡雜質3) (mm2/100cm3) | 熒光4) | 最佳透過范圍(nm) (>80%) |
SK-1300 | Φ850 xt150 | Class 1 Grade"A" | NS | ≤10 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1320L5) | Φ600 xt100 | Class 1 Grade"A" | NS | ≤5 | 0 ~ 0.03 | 無 | 170~2500 |
SK-1321 | Φ500 xt150 | Class 1 Grade"A" | 1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1321L5) | Φ500 xt100 | Class 1 Grade"A" | 1D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 無 | 170~2500 |
SK-1322 | Φ500 xt150 | Class 3 Grade"A" | 3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | NS | 170~2500 |
SK-1322L5) | Φ500 xt100 | Class 3 Grade"A" | 3D≤2x10-6 | ≤3 | 0 ~ 0.03 | 無 | 170~2500 |
SK-1310 | Φ600xt150 | Class 1 GradeHA" | NS | 未標明 | 0 ~ 0.03 | NS | 185~2700 |
NS: Not Specified
備注:
1) MIL-G-174定義
2) 有效面積為直徑的10%。可根據要求提供高均勻性和雙折射
3) 包含符合DIN58927定義的“A"級。
4) 能量密度≤30mJ/cm2入=248nm。可根據要求使用高能激光。
5) 耐久性∶30 mJ/cm2·200次激發后,≤0.1%/cm 在λ=248nm條件下。