
行程 | 100mm
|
分辨率 | 2.5μm |
單向重復定位精度(保證值) | ±1μm |
雙向重復定位精度(保證值) | ±3μm |
準確度(保證值) | ±12μm |
速度 | 40mm/s |
直線度 | 12μm |
Yaw-偏擺 | 30″ |
持續推力 |
|
重量 | 10.4kg |
負載 | 20kg |
最小運動增量 | 3μm |
單向重復定位精度(典型值) | ±0.5μm |
雙向重復定位精度(典型值) | ±2μm |
準確度(典型值) | ±6μm |
使用場景 | ±6μm |
平整度 | 12μm |
Pitch-俯仰 | 30″ |
峰值推力 |
|
適配控制器 | 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264 |
聯合光科提供各類直線位移臺,包括直線電機平移臺、步進電機平移臺、伺服電機平移臺,適用于行程范圍在0-1000mm之間的各項應用, 結構堅固,廣泛應用于各種精密的科研、工業生產環節,其中包括 半導體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。 位移臺插電即用,控制器配備觸摸顯示屏方便調試與控制,接口豐富方便二次開發。
產品特點
1. 行程覆蓋:25mm、30mm、38mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm、500mm、1000mm。
2. 堅固的臺身設計可確保進行可靠的XY軸組裝。