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聯合光科技(北京)有限公...

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帶你了解無限遠校正顯微物鏡

閱讀:145      發(fā)布時間:2025-3-4
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帶你了解無限遠校正顯微物鏡,光學顯微鏡簡介
光學顯微鏡是是人們用以觀察微小物體和認識微觀世界的重要手段和工具,也是人們從事光學精密測量、分析微觀組織、觀察細微結構、開展微型工藝等的科學儀器。簡單的光學顯微鏡包含一個用來放大樣品的成像系統和一個照射樣品的照明系統。但大多數光學顯微鏡都要更復雜,在顯微鏡內部和其物鏡目鏡里,還包含了很多嚴格控制尺寸大小的高精度鏡頭。
圖1 顯微鏡光路示意圖

在使用顯微鏡時,我們總是希望能得到清晰明亮的圖像,這就需要顯微鏡的各項光學技術參數達到一定的標準,并且要求在使用時,必須根據實際情況來協調各參數的關系。只有這樣,才能充分發(fā)揮顯微鏡應有的性能,得到滿意的顯微成像效果。

顯微物鏡是顯微成像系統的重要組成部分,它很大程度上決定了顯微鏡的放大倍數和分辨率,顯微鏡和顯微物鏡主要有以下光學技術參數:

放大倍率

顯微鏡整體系統的放大倍率為目鏡和物鏡的放大倍率的乘積,放大倍率通常是以一個數值和“x"表示,如10x、20x、50x等;

數值孔徑NA

數值孔徑是顯微物鏡最主要的技術參數,它是一個無量綱量,用來衡量物鏡接收角的范圍,用以衡量該系統能夠收集的光的角度范圍。數值孔徑NA是透鏡與物體之間介質的折射率n和半孔徑角θ的正弦之乘積,即

NA = n × sinθ

圖2 顯微物鏡孔徑示意圖

分辨率

顯微鏡的分辨率是指能被顯微鏡清晰區(qū)分的兩個物點的最小間距,計算公式為

σ = λ / NA
其中σ為最小分辨距離,λ為光線的波長,NA為物鏡的數值孔徑。

工作距離

物鏡的工作距離指物鏡底面到樣品表面的距離。在物鏡數值孔徑一定的情況下,工作距離短則孔徑角大。

物鏡的基本類型

顯微物鏡是光學顯微鏡最關鍵的零件,也是最難設計和裝配的零件,物鏡是由一系列透鏡組裝而成,物鏡的成像質量直接決定了顯微鏡系統的性能。在選擇合適的物鏡時,除了放大倍率、數值孔徑等上述提到的技術指標外,了解正確的像差校正也是極為重要的。

顯微物鏡按照像差校正情況不同可以分為消色差物鏡、復消色差物鏡、平場消色差物鏡、平場復消色差物鏡等。

消色差物鏡(Achromatic objective)

它是實驗室常用的物鏡,外殼上常有“Ach"字樣,它針對藍光(486nm)和紅光(656nm)兩種波長進行色差校正,同時對546nm波長的光進行球差校正。消色差透鏡是單色光應用的選擇。

復消色差物鏡(Apochromatic objective)

復消色差物鏡外殼上標有“Apo"字樣,要求能夠在三種波長區(qū)域(紅色、藍色和黃色)中校正色差。此外,它們也能夠提供二到三種波長的球差校正,而且通常具有較高的數值孔徑和較長的工作距離,因此光學結構更為復雜,且通常需要采用特種玻璃或螢石等材料制作。復消色差物鏡非常適合用于白光應用中。

平場物鏡(Plan Objective)

消色差/復消色差物鏡一般在大放大倍率時,會出現場曲問題,即像場不再是平面而是發(fā)生彎曲,平場物鏡即在物鏡設計時通過對場曲進行校正,提高邊緣視場像差,使得曲面場變成平面。平場物鏡外殼上標有“Plan"字樣。

無限遠共軛&有限遠共軛

無限遠共軛、有限遠共軛指的是顯微物鏡的物面與像面這兩個共軛面而言的。

如圖3a所示,有限遠共軛顯微物鏡,從樣品散射的光被物鏡匯聚到一點,然后通過目鏡成像;

而無限遠共軛顯微物鏡,如圖3b所示,離開物鏡后孔徑的光線會被準直,在成像應用中需要一個鏡筒透鏡將物鏡準直后的光聚焦在傳感器上。無限遠共軛顯微物鏡外殼上標有“∞"字樣。

圖3  a有限遠共軛物鏡   b無限遠共軛物鏡

無限遠共軛物鏡與有限遠共軛物鏡相比,優(yōu)勢在于,可以在無限遠共軛物鏡和鏡筒透鏡之間插入偏振片、濾波片等,而無需改變光束傳播方向。

物鏡鏡筒上印有大部分物鏡的規(guī)格,用戶在使用時可以輕松辨別,以聯合光科推出的無限遠校正長工作距離顯微物鏡為例,了解下標識所代表的含義。

圖4 典型顯微物鏡規(guī)格標識
無限遠校正長工作距離顯微物鏡應用
無限遠校正長工作距離平場復消色差物鏡代表當今顯微鏡生產高水平,在半導體、電子、冶金等行業(yè)中得到越來越廣泛的使用,其憑借優(yōu)異的成像質量,超長的工作距離,大數值孔徑等特點,廣泛應用于激光微納加工、激光微束系統、亮場工業(yè)檢測等多種場合。
激光微束操作系統中的應用

激光微束操作系統可以在基因工程中實現非接觸細胞操作,系統中“光鑷"和“光刀"則依靠高質量的顯微物鏡實現。

圖5 在激光微束操作系統中的應用

飛秒激光微納加工中的應用

飛秒激光微納加工往往是在極小的空間、極短的時間和特別的物理條件下對物質進行加工的,使用無限共軛長工作距離、復消色差設計的顯微物鏡可以將激光束聚焦到接近衍射極限,從而獲得很高的能量密度,使脈沖中心很小的區(qū)域的能力超過燒蝕閾值,實現比焦點還小的特征結構。

圖6  在飛秒激光微納加工中的應用
工業(yè)檢測中的應用

無限共軛長工作距離顯微物鏡在工業(yè)微觀形貌檢測上也有廣泛應用,圖7是在共聚焦顯原理的輪廓儀中的應用,可以實現3D形貌的檢測和關鍵尺寸的測量。

圖7 在工業(yè)微觀形貌檢測中的應用
無限遠校正長工作距離顯微物鏡產品簡介
聯合光科技(北京)有限公司推出的2X、5X、10X、20X、50X、100X的長工作距離顯微物鏡,其光譜波長范圍是400-700nm,該物鏡采用平場復消色差設計,其可對紅光、藍光和黃光進行校正,具有工作距離長、數值孔徑大等特點,這些物鏡被廣泛應用到亮場工業(yè)檢測、教育科研等領域。
聯合光科無限遠校正長工作距離顯微物鏡
主要參數



產品編號

放大倍率

數值孔徑

焦距/mm

分辨能力/um

690000

2x

0.06

100

5

690002

10x

0.28

20

1

690003

20x

0.42

10

0.7

690004

50x

0.55

4

0.5

690005

100x

0.7

2

0.4

更多產品信息詳見:無限遠校正長工作距離顯微物鏡 


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