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陶瓷材料是指用天然或合成化合物經(jīng)過成形和高溫?zé)Y(jié)制成的一類無機非金屬材料。氧化鋁陶瓷主要組成物為Al?O?，一般含量大于45%。氧化鋁陶瓷具有各種優(yōu)良的性能。用途廣泛，可用作坩堝、發(fā)動機火花塞、高溫耐火材料、熱電偶套管、密封環(huán)等，也可作刀具和模具。但在利用透射電鏡觀察氧化鋁陶瓷的晶粒形貌時，陶瓷的脆性和硬度給制樣帶來了一定的困難，而離子減薄對比機械減薄、超薄切片等方法可以有效避免樣品破碎，因此本文采用離子減薄儀對氧化鋁陶瓷進行透射電鏡制樣。
本文使用了鼎竑離子減薄儀GU-AI9000對氧化鋁陶瓷進行減薄。
電壓：7kv
電流：0.4mA
減薄時間：2.5h
設(shè)定灰度值：235
破孔值：6
樣品與離子槍角度：12°
將直徑約10 mm的氧化鋁陶瓷片使用機械沖鉆成3 mm直徑的圓片，過程中盡量穩(wěn)定防止破碎，后使用不同的砂紙和拋光布進行機械研磨拋光，使其減薄至20 µm。氧化鋁陶瓷片經(jīng)過機械減薄后的示意圖如圖1。
圖1 機械減薄后示意圖
陶瓷片經(jīng)過減薄后的低倍電鏡圖，如圖2。
圖2 陶瓷片低倍電鏡圖
經(jīng)過觀察，陶瓷片穿孔區(qū)域周圍存在小于200納米的薄區(qū)可以被透射電鏡電子束穿透觀察。
減薄后的陶瓷片高倍透射電鏡圖，如圖3
圖3 陶瓷片高倍透射電鏡圖
圖片可以清晰觀察氧化鋁陶瓷片的晶粒形貌，襯度明顯，可以說明陶瓷片減薄成功。
本文利用鼎竑離子減薄儀GU-AI9000對氧化鋁陶瓷進行了減薄。該儀器可以高質(zhì)量完成對氧化鋁陶瓷片的減薄，使其擁有足夠的薄區(qū)上透射電鏡拍攝，滿足對氧化鋁陶瓷減薄的要求。同時該方法參數(shù)也可對其他材料樣品減薄提供參考。
鼎竑GU-AI9000具有無磁聚集離子源、破孔自動終止等技術(shù)優(yōu)勢，可滿足電鏡制樣前處理需求，是透射電鏡的專用制樣設(shè)備。如果您對我們的產(chǎn)品感興趣，可掃描下方二維碼添加客服，歡迎前來咨詢溝通。
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