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一、SS-30臺式掃描電鏡性能特點：
1、放大倍率20-30000X（Magnification Max 20-30,000 X）；
2、標配二次電子探測器，可選背散射電子探測器（Standard secondary electron detector, optional backscatter electron detector）；
3、1kV~15kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 15kV，High image resolution）；
4、通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；
5、XYZ軸三向手動操作移動平臺（XYZ axis three-way manual operation platform）；
6、最大樣品尺寸高度20mm，直徑40mm。
二、SS-30臺式掃描電鏡產品特性：
（1）臺式掃描電子顯微鏡，體型小巧，占用空間小；
（2）強大的軟件功能，單窗口操作界面，讓用戶操作方便簡單；
（3）軟件實現檢測圖形實時存儲；
（4）掃描電子顯微鏡產品結構設計簡潔，易于維護及保養；
（5）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。
三、主要參數：
1、分辨率：15nm (30kV, SE Image)
2、放大倍率：20~60,000 X
3、加速電壓：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)
圖像檢測
1、二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image
2、 Detector SE 二次電子探測器
觀察模式
3.1.Standard Mode 標準模式
3.2.Charge-up reduction mode 遞減模式
電子槍系統
1、燈絲類型：預對中鎢燈絲
2、偏壓系統：自動偏壓方式
3、電子槍校正：手動方式
透鏡構成
1、聚光鏡：2段式磁線圈透鏡
2、物鏡：1段式磁線圈物鏡
3、探測器類型：SE Detector/ BSE Detector
4、載物臺系統：手動
5、載物臺移動：3軸手動
6、圖像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)
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