PS 10 MarSurf 2 µm

PS 10 MarSurf  5 µm

Marsurf PS10 C2

橫向驅動，2微米探針

測量原則

探針法

輸入

感應式滑動測頭

測量單元

公制/英寸

測量范圍

350 µm、180 µm、90 µm（自動切換）

350μm

輪廓分辨率

32 nm、16 nm、8 nm（自動切換）

8 nm

過濾器符合 ISO/JIS 標準

相位校正輪廓過濾器，符合 DIN EN ISO 11562 標準；過濾器，符合 DIN EN ISO 13565-1 標準；ls 過濾器，符合 DIN EN ISO 3274 標準（可脫離）

短行程符合 ISO/JIS

可選

掃描長度符合ISO 12085 (MOTIF)

1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm

1 mm, 2 mm, 4 mm

根據 ISO/JIS 評估長度

1.25 mm、4.0 mm、12.5 mm

1.25 mm, 4.0 mm

采樣長度數量符合 ISO/JIS

可選：1 至 5

可選: 1 至 16

探針

2 µm

5 µm

2 µm

測量力 (N)

約..0.7 mN

大約 0.7 mN

0.00075

校準功能

動態

動態

動態：RA、RZ、RSM

儲量

多 15 個輪廓，多 20000 個結果

多 15 個輪廓，多 20000 個結果

多3900個配置文件，多500000個結果，多1500個PDF記錄，可使用32 GB的microSD卡進行擴展

其他

鎖定/密碼保護，日期/時間

防護系統

IP 40

可充電電池

鋰離子電池，小1200個測量值

寬范圍電源

100 至 264 V

尺寸

160 mm x 77 mm x 50 mm