等離子設備 Atto

Atto 外部PC控制

Atto 集成PC控制

等離子設備 Atto，配有手動控制系統、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統，用于小批量工藝研發、清洗、活化、蝕刻

等離子設備 Atto，配有外部 PC 控制系統、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統，用于小批量工藝研發、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統

等離子設備 Atto，配有內置式 PC 控制系統、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機、等離子活化系統，用于小批量工藝研發、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統

系列

Atto 手動控制

Atto 外部PC控制

Atto 集成PC控制

控制系統

手動型、通過模擬計時器測定工藝時間

PC-控制系統(Microsoft Windows XP)

PC-控制系統 (Microsoft Windows CE)

體積

10.5L

真空腔室

玻璃材質、Dia.211 mm、長 300 mm

樣品支架

1個樣品支架

氣源

2 個由針型閥控制的氣體通道

2 個由 MFCs 控制的氣體通道

2 個由 MFCs 控制的氣體通道

高頻電流發生器

40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配

真空泵

5 m3/h

外尺寸

寬  525 mm、高  275 mm、深  450 mm

電源電壓

AC220V