PiPi小型等離子裝置介紹

高頻輸出 200W,反應腔 W130×D130mm。

經濟型、適合于研究開發用小型等離子清洗機。  

特點  

● 經濟型等離子清洗機

● 簡單的等離子處理操作

● 等離子模式為RIE模式  

用途  

● 去除有機物

● 樹脂/膜等表面改質

● 改善粘接效果

● 提高親水性

● 去除金屬氧化物

● 蝕刻  

等離子為氣體發生電離狀態，形成帶有正電的離子及帶有負電的電子狀態。等離子為帶有高能量、反應性非常高的狀態，其容易與物質表面進行反應的特性被廣泛使用。  

等離子RIE（Reactive Ion Etching 方式）

RIE是去除物體表面的有機物污垢，同時去除無機物的合適的清洗方式。

RIE方式為加速離子層中的陽離子，沖擊污染表面的物理性清洗方式。

PiPi小型等離子裝置規格