熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)表是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的，該儀表采用恒溫差法對氣體進(jìn)行準(zhǔn)確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。

傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時(shí)，一個(gè)傳感器不間斷地測量介質(zhì)溫度T1；另一個(gè)傳感器自加熱到高于介質(zhì)溫度T2，當(dāng)有流體流過時(shí)，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，若要使ΔT保持不變，就要提高T2的供電電流，氣體流動(dòng)速度熱快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數(shù)關(guān)系，這就是恒溫差原理。

流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。在1977年由美國高準(zhǔn)(Micro Motion)公司的創(chuàng)始人根據(jù)此原理研發(fā)出上第一臺(tái)可以實(shí)際使用的質(zhì)量流量計(jì)。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的流量管，中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有檢測線圈，變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng)，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，安裝在振管兩端的檢測線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個(gè)信號的相位差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)表具有如下技術(shù)優(yōu)勢：

• 真正的質(zhì)量流量計(jì)，對氣體流量測量無需溫度和壓力補(bǔ)償，測量方便、準(zhǔn)確。可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。

• 寬量程比，可測量流速高至100Nm/s低至0.1Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。

• 抗震性能好使用壽命長。傳感器無活動(dòng)部件和壓力傳感部件，不受震動(dòng)對測量精度的影響。

• 安裝維修簡便。在現(xiàn)場條件允許的情況下，可以實(shí)現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)。（需要特殊定制）

• 數(shù)字化設(shè)計(jì)。整體數(shù)字化電路測量，測量準(zhǔn)確、維修方便。

• 采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實(shí)現(xiàn)工廠自動(dòng)化、集成化。