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FEIN 4025441  AFSC1.7Q/N00 18V 230V

FEIN 4025441  AFSC1.7Q/N00 18V 230V

KUBLERE760 7DIG1TS 230VAC計(jì)時(shí)器
PHOENIXSAC-5P-M12MSPBTR高爐 終端電阻
TWKIW253/40-0.25-KFN-KHN
ZIEHL-ABEGGFB063-OEK-416L風(fēng)扇
B&R AM374電源供應(yīng)器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)CMH120-30M-5533-1024-CR1000脈沖編碼器
DELTA TS2236 DC24V熱金屬檢測(cè)器
HYDACFZP 1/1.1/V/71/ 7/RV4.5潤(rùn)滑油泵
NORELEM06292-1025080緊固件
HUBTEX電瓶接插件    4111266電瓶接插件
HYDACSB0330-0.75E1/112A9-330AB"
傳感器"
EMGKD941X-10valve
KOBOLDTMA-06420214 0-20MA溫度開(kāi)關(guān)
MTSRHV0250MD631P102
IGUS2800.06.2.12.C備件
HEMOMATIK型號(hào)：HMFB00PS126 VI=270MM V2=335MM
HAWEAC40-1/4-250BAR蓄能器
NORELEMNLM 03120-016   CIMBLOT CYLIND配件
BAUER BG10-37/D08LA4-TF/C3 0.75KWMOTOR需銘牌
HYDAC壓力表 HM60-10-R-G1/2〃壓力表
HYDACEDS3348-5-0250-Y00壓力繼電器
MTSRHS0580MP101S1G6100 CABLE10M
EMGDMC500 N=160 8.5KW 18.7A多回轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)型
LEINE&LINDE編碼器 RS530005351-100PPR編碼器
MTSRHN2800MR021A01
BARKSDALE SW2000 CP28-040甘油壓力表壓力表
PHOENIXQUINT-PS-100-240AC/24V10A電源模塊
BAUER TDSK-A10E/GZ備件需銘牌
HYDACHAD4744-A-060-000壓力變送器
BarksdaleSW2000-16-G-1軒盎MH17
STROMAG 閘片 參考:451793類(lèi)型:US.2-4
HYDACRFBN/HC240DE20D1.X/-L24回油過(guò)濾器
LEINE&LINDE46019編碼器
RITTALSK3110 10(4)A MAX:30W 220VAC控制器
BEDIA CLS-50 500056Sensor
PHOENIXSAC-5P-M12MS PB TR機(jī)電
MTSRHM0150MR021A01
PHOENIXEMG22-DIO 4E-1N5408二極管
KUBLER8.5020.C004.4096.A034編碼器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)GEC ALSTHOM PARVEX 伺服電機(jī)電機(jī)
HAWERK2G單向閥
WAYCONSM10-HYD-MH-18-5位移傳感器
HYDACDVP-10-01.X截止閥
HYDACVR2D.0/L24 24V/4A  46/07壓力傳感器
RADIO-ENGRGIE(雷恩)66247傳感器插頭
NSDMRE-32SP062SAC傳感器
BAUMER PBMN23B15AA14409211壓力變送器
FRAKO6*KIT50-400-7S+2*KIT25-400-7S電容
IGUSWFM-2023-16軸承
HYDAC1.13.08D06BN4濾芯
HYDACBLT-M-160-F-3-W-1-X G1通氣器
IGUS3800.20配件
MOOGD661-4651/G15JDAA6VSX2HA比例伺服閥
HYDACLYD-021-B-1.5-M溫度控制器
KUBLER8.5863.1200.G323.S013.K012旋轉(zhuǎn)編碼
ELERO    備件    JUNIOR  NR;250000387
ELERO    執(zhí)行器    D-07381  20024342
ELERO    馬達(dá)電機(jī)    280007900 Junior 1 24VDC 70mm 2mm/s
ELERO    電機(jī)    130001859
ELERO    直線電機(jī)    Junior 2 NR.:290002203
ELERO    電機(jī)    100014302
ELERO    定位器    PICOLO XL200  NR:290003771
ELERO    線性傳感器    Type:Economo Nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    直線電機(jī)    Junior 0E  stroke lengths(行程）100mm
ELERO    電機(jī)    junior 1 variant k 訂貨號(hào)：756783801
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    電機(jī)    NO.6001440514.2
LHPw-10/4-L50
德國(guó) ELSTER-0047 QA100 80Z PN16 10-160m3/h
德國(guó) ELSTER-0034 QA100-80ZI DN100 Pmax: 16bar
德國(guó) ELSTER-0007 QA10080Z1 SN:69170108/2006
德國(guó) ELSTER-0044 QA10080ZI
德國(guó) ELSTER-0046 QA160 80Z  PN16
德國(guó) ELSTER-0036 QA160 80Z1 16bar Qmin :10m3/h
德國(guó) ELSTER-0028 QA250
德國(guó) ELSTER-0045 QA40 DN25 PN4流量計(jì)
德國(guó) ELSTER-0033 QA65 50ZI
德國(guó) ELSTER-0031 QA65ZI  渦輪流量計(jì)
德國(guó) ELSTER-0055 Q型 Qmax=20000Nm3/h DN300,PN10
德國(guó) ELSTER-0050 R054 250V/2A 1盒100只
德國(guó) ELSTER-0009 TR Z G65 DN50 PN10
德國(guó) ELSTER-0011 TRZ G1000 DN150 PN1.6MPA
德國(guó) ELSTER-0015 TRZ2 G400 DN150 ANSI300
德國(guó) ELSTER-0037 TRZ2-G250, DN80
德國(guó) ELSTER-0026 TRZ2G250DH80PN16
德國(guó) ELSTER-0058 TRZ2型氣體渦輪流量計(jì)G650
德國(guó) ELSTER-0017 TVC G100 DN80 PN16
德國(guó) ELSTER-0018 TVC G400 DN100 PN16  
德國(guó) ELSTER-0016 TVC G400 DN100 PN16
德國(guó) ELSTER-0019 TVC G65 DN50 PN1
  德國(guó) ELERO-0001 EOO*** 出廠編號(hào)270002099415VA
德國(guó) ELERO-0002 VAR101 序列號(hào):270021479
德國(guó) ELERO-0003 SN:290003456,24VDC  1.6A IP54
德國(guó) ELERO-0005 Econom 01 D-07381 NO.280008854
德國(guó) ELERO-0006 Typ：Compakt  Nr.290006989
德國(guó) ELERO-0007 nr：100003335  1.1A 27W IP54
德國(guó) ELERO D-07381  P06NECK
德國(guó) ELERO-0009 Junlor OE SN.280012313
德國(guó) ELERO-0010 ECO***  Nr:280013243
德國(guó) ELERO-0011 Econom  1W/A  sn.99010284
德國(guó) ELERO-0012 NR:270015119
德國(guó) ELERO-0013 Typ:Compakt  sn.290017065
德國(guó) ELERO-0014 290017065
德國(guó) ELERO-0015 Typ:Compakt Juniorl
德國(guó) ELERO-0016 Typ: Juniorl  nr.230909124
德國(guó) ELERO-0017 Junior 1    Nr.:220201779
德國(guó) ELERO-0018 Vario 1
德國(guó) ELERO- Nr:280003207
德國(guó) ELERO-0020 Econom 01D/A  sn.240201817
德國(guó) ELERO-0021 EOO*** 出廠編號(hào)270002099
德國(guó) ELERO-0022 junior 2   Nr:240201147
德國(guó) ELERO-0023 Junior   Nr:.290010361
德國(guó) ELERO-0024 Variol  755313101 800mm
LHPE-13/1-L50
LHPEw-13/1-L50
LHPE-13/2-L50V
LHPEw-13/2-L50V
LHP-13/2-L50
LHPw-13/2-L50
LHP-13/3-L50V
LHPw-13/3-L50V
LHP-13/3-L50
LHPw-13/3-L50
LHP-13/4-L50
LHPw-13/4-L50
LHP-13/4-L50V
LHPw-13/4-L50V
ELERO    直線電機(jī)    ECO   NR:280013243
ELERO    電機(jī)    Econom 01    NR:260002600   fn:50HZ    IP54
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    點(diǎn)火塞    VIRIOL No.250000745
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt，Hub:200mm，Vhub:Ca.4mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt ，Hub:200mm，Vhub:Ca.2mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    執(zhí)行器    D-07381  20024342
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    遙控器    NO.9000440416.47
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt，Hub:200mm，Vhub:Ca.4mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    叉子電機(jī)    Compakt ，Hub:200mm，Vhub:Ca.2mm/s，UN:400V+3AC，IN:1.3A，P:900vA
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    備件    JUNIOR  NR;250000387
ELERO    執(zhí)行器    D-07381  20024342
ELERO    馬達(dá)電機(jī)    280007900 Junior 1 24VDC 70mm 2mm/s
ELERO    電機(jī)    130001859
ELERO    直線電機(jī)    Junior 2 NR.:290002203
ELERO    電機(jī)    100014302
ELERO    定位器    PICOLO XL200  NR:290003771
ELERO    線性傳感器    Type:Economo Nr:110004584
ELERO    備件    ECO HUM:80MM UN:400V-3AC 120012956
ELERO    直線電機(jī)    Junior 0E  stroke lengths(行程）100mm
ELERO    電機(jī)    junior 1 variant k 訂貨號(hào)：756783801
ELERO    線性傳感器    D-07381 Nr:110004584
ELERO    線性傳感器    type:economo nr:110004584
ELERO    電機(jī)    NO.6001440514.2
FEIN 30763368990
FEIN 54199012020
FEIN 30762418990
FEIN 訂貨編號(hào)：63801154007
FEIN 訂貨編號(hào)：63801120006
FEIN 訂貨編號(hào)：63717242010
FEIN 訂貨編號(hào)：71131861000
FEIN 鉆軸上的錐柄規(guī)格B16 DEeu 638  訂貨號(hào)：720540
FEIN 63806193010
FEIN KS10-38E 訂貨編號(hào)：72216760000
FEIN 訂貨編號(hào)：63803067028
FEIN 訂貨編號(hào)：63721006012
FEIN ABS14 訂貨編號(hào)：71130350017
FEIN BF10-280E訂貨編號(hào)：72280551000
FEIN 訂貨編號(hào)：63721009018
FEINMETALL H774LA1    F785.06.B250.G.300.L
FEIN 63726028010
FEIN WPO14-25E-不銹鋼基本套裝 訂貨號(hào)72214950010
FEIN 63723014019
FEIN 63726007014
FEIN 63714051014
FEIN 63723013011
FEIN 63726027010
FEIN 63726029010
FEIN 63714052017
FEIN 63723011014
FEIN 63714058018
FEIN 63733003010
FEIN RS 12-70E 訂貨號(hào)：72211350014
FEIN WPO 14-25 E訂貨號(hào):72214930220
FEIN 訂貨號(hào):63806193010
FEIN 訂貨號(hào):63717226010
FEIN WPO 14-25 E訂貨號(hào):72214930220
FEIN 訂貨號(hào):63806193010
FEIN 訂貨號(hào):63717226010
FEIN 訂貨號(hào)63717226010
FEIN 訂貨號(hào)63806193010
FEIN 63726028010
FEIN WPO 14-25 E訂貨號(hào):72214930220
FEIN 63726027010
FEIN 63723014019
FEIN 63726007014
FEIN 63714051014
FEIN WPO 14-25E 訂貨號(hào)：72214950010
FEIN 63723013011
FEIN 63726029010
FEIN 63714052017
FEIN 63723011014
FEIN 63714058018
FEIN 63733003010
FEIN RS 12-70E 訂貨號(hào)：72211350014
FEIN RS 12-70E 訂貨號(hào)：72211350014
FEIN WPO 14-25E 訂貨號(hào)：72214950010
FEIN ABS 18
FEIN WP012-27E 180# 63721009018
FEIN 貨號(hào):63502144014   E型鋸片
FEIN 貨號(hào):63502144014   E型鋸片
LENORD+BAUER DS290
LENORD+BAUER WA291 適配器
LENORD+BAUER GEL2443KNRG5K030-E
NORD SK25F  IEC112 NO:200558579-130012618824
LENORD+BAUER GEL2443KNRG5A030-E
NORD SK12080AZ-71S/4 No。200538714-500 12451840
LENORD+BAUER GEL2010XN1024ACR0S
LENORD+BAUER 2432T-1BC600
LENORD+BAUER GEL2443KNRG3K30-E
LENORD+BAUER GEL293-V-001600L013
LENORD+BAUER GEL292-V-001600L013
NORD Type SK 112M4 BRE60
NORD SK 0/2G 63 S/4 2G RD
NORD SK 100AH/4 TF
NORD TYPE:SK 9043.1-90S/6 F IG 12K
NORD TYPE:SK 80S/6 BRE5 TF F IG 12K
LENORD+BAUER 2443Y015
LENORD+BAUER 2443Y015
NORDSON PN:1007034
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL 2478XWP400KANK02(6線） 長(zhǎng)度29mm 電纜長(zhǎng)度2m
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02(長(zhǎng)度29毫米
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK06
LENORD+BAUER GEL2478XWP400LANK01
LENORD+BAUER GEL2478XWP400KANK02
LENORD+BAUER GEL293-V-02048L011 Nr.L260307
LENORD+BAUER 2432T-1 BC600
LENORD+BAUER GEL260C-00000B033測(cè)速傳感器
LENORD+BAUER GEL260C-00000B033測(cè)速傳感器
LENORD+BAUER GEL243Y017
LENORD+BAUER GEL243Y017
LENORD+BAUER GG 66(6-pole straight)
LENORD+BAUER GEL 207-VN01000A533
LENORD+BAUER GEL 260-VN00500B731
LENORD+BAUER GEL8232B202
LENORD+BAUER GEL2443Y004 5V DC
LENORD+BAUER 244KM1S3
LENORD+BAUER ZFN0757-5
LENORD+BAUER GEL2443Y005 SN:0942001220
LENORD+BAUER GEL260C-000000B033
NORD SK372-100LA/4  序列號(hào)：200834697-200
NORD SK100LA/4     序列號(hào)：35712601
NORD SK80L/4
NORD SK0-63L/4 931331369800003
NORD SK1S175 60791000 50931384 15988657
NORD SK1S163 60691000 51138395  17033772
NORD Type SK 71L/4

經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門(mén)結(jié)構(gòu)型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開(kāi)關(guān)

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動(dòng)型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

電動(dòng)型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

材質(zhì):花崗巖臺(tái)面+不銹鋼

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

LCD半自動(dòng)探針臺(tái)

機(jī)械手臂取放片

電動(dòng)、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測(cè)尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動(dòng)探針臺(tái)

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測(cè)分析

機(jī)臺(tái)尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測(cè)探針臺(tái)(TDR)

高頻測(cè)試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺(tái)尺寸同LCD 探針臺(tái)

太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)探針臺(tái)(Solar Cell 量測(cè)系統(tǒng))

量測(cè)軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽(yáng)光模擬器

錨點(diǎn)折疊編輯本段自動(dòng)探針臺(tái)的維護(hù)
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類(lèi)

縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類(lèi)，即:以美國(guó)EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其核心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi)，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(zhǎng)。

而定子在加工過(guò)程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱(chēng)為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無(wú)法使用而報(bào)廢。

由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng)，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動(dòng)子，方法同前， 輕擦動(dòng)子表面，動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。

錨點(diǎn)折疊編輯本段高精度探針臺(tái)
目前出貨量*的型號(hào)吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)) OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來(lái)源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺(tái)各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測(cè)試環(huán)境，可以提供從前部開(kāi)始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

特性4:TTG(一點(diǎn)即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。

經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門(mén)結(jié)構(gòu)型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開(kāi)關(guān)

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動(dòng)型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

電動(dòng)型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

材質(zhì):花崗巖臺(tái)面+不銹鋼

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

LCD半自動(dòng)探針臺(tái)

機(jī)械手臂取放片

電動(dòng)、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測(cè)尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動(dòng)探針臺(tái)

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測(cè)分析

機(jī)臺(tái)尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測(cè)探針臺(tái)(TDR)

高頻測(cè)試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺(tái)尺寸同LCD 探針臺(tái)

太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)探針臺(tái)(Solar Cell 量測(cè)系統(tǒng))

量測(cè)軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽(yáng)光模擬器

錨點(diǎn)折疊編輯本段自動(dòng)探針臺(tái)的維護(hù)
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類(lèi)

縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類(lèi)，即:以美國(guó)EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其核心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi)，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(zhǎng)。

而定子在加工過(guò)程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱(chēng)為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無(wú)法使用而報(bào)廢。

由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng)，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動(dòng)子，方法同前， 輕擦動(dòng)子表面，動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。

錨點(diǎn)折疊編輯本段高精度探針臺(tái)
目前出貨量*的型號(hào)吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)) OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來(lái)源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺(tái)各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測(cè)試環(huán)境，可以提供從前部開(kāi)始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

特性4:TTG(一點(diǎn)即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。

經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)

X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)

chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離

顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)

顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門(mén)結(jié)構(gòu)型(可選)

探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開(kāi)關(guān)

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等

半自動(dòng)型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

電動(dòng)型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)8~12顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

材質(zhì):花崗巖臺(tái)面+不銹鋼

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

LCD半自動(dòng)探針臺(tái)

機(jī)械手臂取放片

電動(dòng)、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測(cè)尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動(dòng)探針臺(tái)

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測(cè)分析

機(jī)臺(tái)尺寸(mm):800x600、500x400、300x300

PCB量測(cè)探針臺(tái)(TDR)

高頻測(cè)試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺(tái)尺寸同LCD 探針臺(tái)

太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)探針臺(tái)(Solar Cell 量測(cè)系統(tǒng))

量測(cè)軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽(yáng)光模擬器

錨點(diǎn)折疊編輯本段自動(dòng)探針臺(tái)的維護(hù)
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類(lèi)

縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類(lèi)，即:以美國(guó)EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。

x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向工作臺(tái)都是其核心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障，而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi)，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(zhǎng)。

而定子在加工過(guò)程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱(chēng)為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無(wú)法使用而報(bào)廢。

由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng)，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇，輕擦定子表面，然后用工具撬起動(dòng)子，方法同前， 輕擦動(dòng)子表面，動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。

2.2 滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái)，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài)，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。

錨點(diǎn)折疊編輯本段高精度探針臺(tái)
目前出貨量*的型號(hào)吸收了新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。

特性1:OTS-近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)) OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來(lái)源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。

特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺(tái)各部分的剛性*是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。

特性3:裝載部件

令客戶滿意的測(cè)試環(huán)境，可以提供從前部開(kāi)始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

特性4:TTG(一點(diǎn)即到)

更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。