凈化勻膠機 是適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導體件生產過程中涂復光致抗腐蝕劑的設備 
設備中涂膠部分四個工位單片微型機控制四個工位同時工作或分別工作，即各工位的運轉單獨傳動，轉數單獨調節及單獨顯示。 
為保證在涂膠工藝中不飛片，設備中吸頭和氣泵中間有四個電磁閥，同時增加一個負壓儲氣罐，保證了吸片牢固和可靠性。 
設備中配有的空氣凈化裝置。 
主要技術指標： 
勻膠工位：1個工位 或者 4個工位 
勻膠時間：1-99秒 
勻膠轉數：500-8000轉/分 
凈化效果：100級（美國聯邦標準） 
操作區風速：0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態：垂直層流() 
于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
外形尺寸：650x750x1620mm 
外體顏色：瓷白色 
1．控制范圍和精度：轉速控制范圍為：500-8000轉，精度為±3% 

凈化勻膠機
2.時間控制范圍為：1-99秒，精度為±5% 
3．轉速調整采用高精度D/A轉換，具有128級的精度調諧。 
4．轉速查看智能化。（自動識別哪個電機開或關）自動轉換到開啟的電機上。可予先選定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。 
5．采用良好的I2C總線技術和E2PRAM數字存儲器，可預存10組工藝參數（勻膠機A型機可予存10個延時時間，40個電機轉速參數。B型機可予存20個時間參數，80個轉速參數；顯影機可保存9個慢啟動參數，30個時間，30個轉速參數）。保存的參數掉電10年不丟失。調整后的參數自動保存，簡化了操作。 
6．具有全自動智能控制功能，當使用全自動方式時只需放好工件，然后按一下ATART（開始）鍵，吸盤自動打開，定時工作完成后延時6秒電機停穩后自動關閉吸盤，喇叭鳴三聲，提示完成工作。大大的提高了工作效率。 
7．定時的時間和轉速的測量全部由軟件控制，定時部分采用倒計時的方式顯示，轉速測量部分直接顯示被測電機的每分鐘轉數。調整部分由軟件和D/A轉換器控制，去掉了原使用CMOS電路采用的撥盤開關和機械電位器的機械觸點。在原基礎上增加了全自動功能，減少了操作程序，避免了頻繁的開關面板上的按鍵開關，大大的降低了按鍵開關因頻繁使用而損壞。提高了整機的可靠性和使用壽命。調整，啟動，切換，停止，并有提示音。

產品名稱：壓差法氣體滲透儀 產品型號：GPT-301

壓差法氣體滲透儀型號：GPT-301

可同時測定試樣的氣體透過率、溶解度系數  
◆ 測試量程可根據需要進行擴展，滿足大透過率測試的要求  
◆ 可進行任意溫度下的數據擬合，輕松獲得端條件下的試驗結果  
◆ 支持有毒氣體及易燃易爆氣體的測試（需改制）  
◆ 系統采用計算機控制，整個試驗過程自動完成  
◆ 提供標準膜進行快速校準，保證檢測數據的準確性和通用性  
◆ 配備RS232通用數據接口，方便數據傳遞  
GPT-301采用壓差法測試原理，將預先處理好的試樣放置在上下測試腔之間，夾緊。先對低壓腔（下腔）進行真空處理，然后對整個系統抽真空；當達到規定的真空度后，關閉測試下腔，向腔（上腔）充入一定壓力的試驗氣體，并保證在試樣兩側形成一個恒定的壓差（可調）；這樣氣體會在壓差梯度的作用下，由側向低壓側滲透，通過對低壓側內壓強的監測處理，從而得出所測試樣的各項阻隔性參數。  
標　　準  
該儀器滿足多種和標準：  
ISO 15105-1、ISO 2556、GB/T 1038-2000、ASTM D1434、JIS K7126-1、YBB 00082003基礎應用薄膜于各種塑料薄膜、塑料復合薄膜、紙塑復合膜、共擠膜、鍍鋁膜、鋁箔、鋁箔復合膜等膜狀材料的氣體滲透性能測試  
片材于各種工程塑料、橡膠、建材等片狀材料的氣體滲透性能測試，如PP片材、PVC片材、PVDC片材等  
擴展應用多種不同氣體適合于多種氣體的透過率測試，如氧氣、二氧化碳、氮氣、空氣、氦氣等  
易燃易爆氣體于各種薄膜對易燃易爆氣體的阻隔性能測試  
生物降解膜用于測試生物降解膜的透氣性能，如淀粉生物降解袋等  
航空航天用材料用于航空航天用材料的氣體透過率測試，如飛艇氣囊的氦氣透過性測試  
紙及紙板用于紙及紙塑等復合材料的透氣性測試，如煙包鋁箔紙、利樂包裝片材、方便面紙碗、一次性紙杯等  
漆膜用于基材上涂覆油漆薄膜的透氣性測試  
玻纖布、玻纖紙等材料于玻纖布、玻纖紙等材料的透氣性測試，如特氟龍漆布、特氟龍高溫布、氟硅膠布等  
化妝品軟管片材于各種化妝品軟管、鋁塑管、牙膏管片材的氣體透過性測試  
各種橡膠片材于各種橡膠片材的透氣性測試，如汽車輪胎透氣性測試 
指標薄膜測試 
測試范圍0.05～50,000 cm3/m2·24h·0.1MPa（常規） 
上限不小于500,000 cm3/m2·24h·0.1MPa（擴展體積） 
試樣件數3 件 
真空分辨率0.1 Pa 
測試腔真空度＜20 Pa 
控溫范圍5℃～95℃ 
控溫精度±0.1℃ 
控濕范圍0%RH、2%RH～98.5%RH、*RH（濕度發生裝置另購） 
控濕精度±1%RH 
試樣尺寸Φ97 mm 
透過面積38.48 cm2 
試驗氣體O2、 N2、CO2等氣體（氣源用戶自備） 
試驗壓力-0.1 MPa～+0.1 MPa（常規） 
氣源壓力0.4 MPa～0.6 MPa 
接口尺寸Ф6 mm 聚氨酯管 
外形尺寸760 mm (L) × 575 mm (W) × 450 mm (H) 
電源AC 220V 50Hz 
凈重88 kg