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| 應用領域 | 石油,電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,綜合 |
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賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質間作用力能量的總稱，也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術的發展，利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，研制出半導體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優點，因此半導體力敏傳感器得到廣泛應用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應力時，其電阻率會產生一定的變化。這種導體電阻率變化和應力之間的相互關系稱為半導體壓阻效應，利用此效應制成的力學量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型，一類是將半導體應變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱為粘貼型壓阻式傳感器，另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，使應變計與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱為擴散型壓阻式傳感器。
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賀德克壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件（或應變計）組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉換為位移或應變，然后由位移敏感元件（見位移傳感器）或應變計（見電阻應變計、半導體應變計）轉換為與壓力成一定關系的電信號。有時把這兩種元件的功能集于一體，如壓阻式傳感器中的固態壓力傳感器。
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