三次元精度校準的組成比較復雜，主要有機械部件、電氣控制部件、計算機系統組成。平時我們在使用三坐標測量機測量工件的同時，也要注意機器的保養，以延長機器的使用壽命。
三次元精度校準主要用于機械、汽車、航空、軍工、家具、工具原型、機器等中小型配件、模具等行業中的箱體、機架、齒輪、凸輪、蝸輪、蝸桿、葉片、曲線、曲面等的測量，還可用于電子、五金、塑膠等行業中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務。
一般3個月要清洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯。空氣質量較差的周期要縮短。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞，時間稍長就會使測量機實際工作氣壓降低，影響三坐標測量儀正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。
三坐標測量儀的導軌是測量機的基準，只有保養好氣浮塊和導軌才能保證測量機的正常工作。三坐標測量儀導軌的保養除了要經常用酒精和脫脂棉擦拭外，還要注意不要直接在導軌上放置零件和工具。尤其是花崗石導軌，因其質地比較脆，任何小的磕碰會造成碰傷，如果未及時發現，碎渣就會傷害氣浮塊和導軌。要養成良好的工作習慣，用布或膠皮墊在下面，保證導軌安全。
精度（0.5um為標準型）
0.5um型U1（X，Y，Z）＝4＋L／150U2（XY）＝5＋L／150U3（XYZ）＝L／150
0.1um型U1（X，Y，Z）＝3＋L／200U2（xy）＝4＋L／200U3（XYZ）＝4＋L／200
Demeet220項目zui大速X，Y＝220Z＝50mm／S
其他DemeetX，Y＝250Z＝50mm／S
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