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ST-21L型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導體薄層電阻（表面電阻）的新型儀器，可用于測量一般半導體材料、導電薄膜（ITO透明氧化膜），金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。

ST-21L型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導體材料、導電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。

該儀器以大規模集成電路為主要核心；用基準電源和運算放大器組成高精度穩流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。

特點：

1	采用大規模集成電路作為儀器的主要部分，測量準確穩定，低功耗；
2	以大屏幕LCD顯示讀數，直觀清晰；
3	采用單個電池供電，帶電池欠壓指示；
4	體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；
5	特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜
6	探頭帶抗靜電模塊

技術指標：

測量范圍	按方塊電阻量值大小分為二個量程檔： 1.方塊電阻 1.000～19.999Ω/□； 2.方塊電阻 10.00～199.99Ω/□；最小分辨率：0.001Ω/□
恒流源	測量過程誤差：≤±0.8%
模數轉換器	量程：0～199.99mv；分辨率：10μv；方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數點同步顯示；
測量不確定度	在整個量程范圍內，測量不確定度≤5%
四探針探頭規格	間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ
電源	使用一節450mAH的鋰電池

ST-21L方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規格：

SZ-ST-21L方塊電阻儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規格：

型號
(Model)

曲率半徑
(Radius)

壓力
(loads)

探針間距
(spacing)

探針排列
(Arrangement)

SP-601

0.5mm

100g

1.59mm

方形