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2025/04/27
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CNI v3.0納米壓印機是一款即插即用的桌面緊湊型的納米壓印工具，可以進行UV和熱納米壓印，也可以進行UV和熱納米聯合壓印！能夠輕松復制從小于40 nm的結構復制到大于100µm的結構結構；壓印尺寸為4inch或8inch晶圓；熱壓印溫度高達250℃，溫度精度±1℃；
對于紫外壓印模塊，UV LED具有溫度監控和過熱保護功能，峰值波長365nm或405nm；對于365nm LED，輸出< 10%的峰值在波長小于355 nm或大于385 nm； UV光功率覆蓋全部腔體>最大功率的10%；4顆UV LED，綜合光功率11.6 W，100 mW/cm2；
壓印腔室可抽真空至1mbar，納米壓印壓力范圍0.3-11bar；壓印腔室高度為最高可達45mm。
