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高精度六軸位移臺
  • 高精度六軸位移臺
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-03-18 16:42:49

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高精度六軸位移臺/六足Hybrid Hexapod具有小于100nm的三維6軸點精度重復(fù)性,使其成為激光加工、光學(xué)檢測、光子學(xué)、半導(dǎo)體、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。

六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod-高精度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺Hybrid Hexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法,并以競爭力的價格展示了更高的性能。六軸位移臺Hybrid Hexapod結(jié)合了精密XY單片工作臺、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)的Theta- Z軸,而不是6個獨立的腿(和12個連接接頭),提供的整體性能。這使得傳統(tǒng)的六足位移臺運動學(xué)過時了,在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍上都有了數(shù)量級的改進(jìn),幾乎可以無限的XY行程,*可編程的工具中心點位置。


六軸位移臺Hybrid Hexapod具有小于100nm的三維6軸點精度重復(fù)性,使其成為激光加工、光學(xué)檢測、光子學(xué)、半導(dǎo)體、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。


傳統(tǒng)的六足位移臺無法達(dá)到亞微米的精度,因為它們需要精確協(xié)調(diào)所有六個軸的運動來完成一個運動輪廓,即使這個要求只是一個簡單的單軸運動。此外,盡管人們普遍認(rèn)為六足位移臺比串行堆疊的多軸系統(tǒng)表現(xiàn)出良好的剛度,但這實際上只是在垂直的“Z"軸上,在“XY"平面上存在弱點。


產(chǎn)品舉例:詳細(xì)參數(shù)請下載數(shù)據(jù)單

高精度六軸位移臺/六足Hybrid Hexapod

迷你六軸位移MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭對準(zhǔn)/粘接到ccd陣列的理想選擇。它在構(gòu)建相機陣列模塊、平移式OIS、用于手機相機和無人機等日常產(chǎn)品中的微型相機的望遠(yuǎn)鏡集成鏡頭方面都很有幫助。任何需要6度自由定位的納米/弧秒級增量運動和重復(fù)性的應(yīng)用都非常適合該產(chǎn)品,因為產(chǎn)品傳感器分辨率的提高推動了對更高精度的需求。


高精度六軸位移臺/六足Hybrid Hexapod


到目前為止,大角度六軸位移臺Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范圍。它非常適合應(yīng)用于非球面和自由曲面光學(xué)計量,硅光子學(xué)封裝和探測,激光微加工(非平面基片和錐度控制),晶圓計量,相機模塊對準(zhǔn)和裝配,傳感器/圖像穩(wěn)定測試,以及光學(xué)元件和光纖對準(zhǔn)。


大角度六軸位移臺具有精密交叉滾子軸承導(dǎo)軌,光學(xué)增量或絕對編碼器反饋在所有軸,直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動器,無限可編程的工具中心點位置和坐標(biāo)偏移,和零后座力。它能夠無限XY位移,Z軸位移在使用其它三腳架模式下62mm增加到208mm,連續(xù)360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度), XYZ雙向重復(fù)性小于+/- 0.6角秒,速度高達(dá)100mm/s  XY和Z,小于10nm的線性和0.1弧秒的小增量角運動。


幾種定制化配置:




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