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應用領域 | 綜合 |
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波前傳感器發展史簡介:
隨著光波波前探測技術的發展,各種波前傳感器應運而生。一代波前傳感器源于美國 Itek 公司——交流橫向剪切干涉儀,這種橫向剪切干涉儀的光能損失很大,存在2π不定性問題以及結構復雜等缺點;為了改進這一些系列問題,1971年R.夏克(Roland Shack)和B.普拉特(Ben Platt)采用透鏡陣列分割采樣波前和ccd自動測量的技術發明了精度更高的夏克哈特曼波前傳感器(Shack-HartmannwavefrontSensor; SHWFS),夏克哈特曼波前傳感器在波前傳感器的發展史具有里程碑的意義,我們也稱第二代波前傳感器。第三代波前傳感器:隨著時代的發展,更高的分辨率、更高的靈敏度、以及更大的寬動態范圍成為了新的科技需求,Shack-Hartmann已不滿足于當前的測試要求;此時,Phasics公司應運而生,它所推出的SID4系列波前傳感器具有結構簡單緊湊、更大動態探測范圍、防震性能強。超高分辨率、高靈敏度(亞納米)和寬動態范圍(數百微米)。
SID4-Fast KHZ頻率超高速高分辨率波前傳感器的主要特性:
?具有幀率7 500 fps(全光圈)
?10800 FPS (16 × 16mm2光圈)
?實時處理頻率1hz(全分辨率)
?采集時間6.7 s(全分辨率)
產品應用:
?激光工業
?天文
?航空航天
?國防
?以及透鏡和晶圓的表面面型檢測
SID4-Fast KHZ頻率 超高速高分辨率(兩用)波前傳感器測試結果部分展示:
?超表面及超透鏡測量
?鏡頭及組件測試
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