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大負(fù)載主動氣浮桌腿型光學(xué)平臺隔振器

產(chǎn)品簡介

明立精機(jī)的MAPS 系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話，對應(yīng)全自由度的振動，能發(fā)揮出優(yōu)秀的除振性能、制振性能、定位性能等。

產(chǎn)品特點

1. MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動

2. 標(biāo)準(zhǔn)的MAPS 可除振10 噸以上的設(shè)備

3. 搭載工件等移動裝置也不會搖擺

4. MAPS 具有優(yōu)秀的精確定位及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

6. MAPS 是構(gòu)成精密設(shè)備的一個重要部分

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造，激光加工等

主要規(guī)格和參數(shù)表