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上海昊量光電設備有限公司

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190-400nm高分辨紫外波前傳感器助力半導體行業發展!

閱讀:803      發布時間:2024-5-8
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190-400nm高分辨紫外波前傳感器助力半導體行業發展!

 

摘要:

本文介紹了紫外波前傳感器在半導體檢測中的應用。詳細闡述了其在晶圓檢測、芯片檢測、封裝檢測以及光學元件檢測中的具體應用。指出紫外波前傳感器能夠提供高精度的檢測數據,幫助工程師及時發現問題并進行修復,從而提高產品質量和生產效率。上海昊量光電設備有限公司推出全新一代高分辨率紫外波前傳感器,探測波段覆蓋190-400nm。該高分辨率紫外波前傳感器具有可測試匯聚光斑,高動態范圍,大通光面(13.3mm x13.3mm),高分辨率(512x512),消色差,震動不敏感等特點。半導體技術在現代社會中扮演著越來越重要角色。隨著半導體器件尺寸的減小和集成度的提高,對檢測技術的要求也越來越高。紫外波前傳感器作為一種高精度的光學檢測手段,在半導體檢測領域發揮了越來越重要的作用,應用范圍也越來越廣泛

 

工作原理:

昊量光電推出的紫外波前分析儀基于四波剪切干涉的原理。四波剪切干涉技術克服了傳統哈特曼傳感器的局限性,可以直接檢測匯聚的激光,同時獲得相位時需要的像素點大大減少,從而具有高分辨率、高靈敏度和寬動態范圍,消色差等優勢AUT-SID4-UV-HR紫外波前分析儀由高分辨率的相機和二維衍射光柵構成,激光通過光柵后,待檢測的激光波前分成束,兩兩進行干涉,對干涉條紋進行傅里葉變換,提取一激光的信息和零級光的信息,利用傅立葉變換進行相關計算,計算出待測波前的相位分布,以及強度分布等。



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波前分析儀在半導體領域的應用:

半導體行業的光刻系統依賴于極其復雜的激光源和光學系統。Phasics公司SID4 系列波前傳感器涵蓋從紫外線(UV,190nm)到長波紅外(LWIR,14um)的范圍,已被證明在半導體行業中非常有價值,可用于鑒定此類光學系統的設計波長。越來越多的研發或制造工程師將SID4 波前傳感器用于激光源和光學系統的對準和計量。

波前傳感器可在單次測量中獲得完整的激光特性。波前傳感器是支持光刻系統制造商和集成商校準、鑒定和監控其紫外光源和系統的理想工具。在整個光刻過程中,都會對晶圓進行檢查。晶圓的檢測是晶圓制造過程中的關鍵部分。昊量光電推出的高分辨率紫外波前分析儀結合了高動態范圍、納米波前靈敏度和高分辨率,是集成在晶圓檢測機中的候選者。

 

1) 晶圓檢測:可以檢測晶圓表面的缺陷、薄膜厚度、平整度等參數。

晶圓表面形貌測量:紫外波前分析儀可以通過配合望遠系統,通過測量打到晶圓表面光的反射確定晶圓表面的形貌特征。

薄膜厚度測量:波前分析儀可以對薄膜進行雙透射測量,根據相位變化,從而確定薄膜的厚度或者得到薄膜的均勻性特征。這對于控制半導體制造過程中的薄膜沉積和蝕刻工藝非常重要。

半導體制造過程監測:在半導體制造過程中,波前分析儀可以實時監測晶圓的表面形貌和光學特性,以確保制造過程的一致性和質量。它可以幫助工程師及時發現問題并進行調整,從而提高生產效率和產品質量。



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2) 芯片檢測:可以檢測芯片表面的形貌、結構、電路布局等參數。

波前傳感器可以用于檢測芯片封裝后的光學性能,如光功率、光束質量等。這對于確保芯片在封裝后的可靠性和性能非常重要。同時波前傳感器可以通過高速測量和數據處理,實現快速檢測,提高生產效率。隨著人工智能和自動化技術的發展,波前分析儀可能會與這些技術相結合,實現自動化檢測和分析。這將有助于減少人為誤差,提高檢測效率和準確性。

 

3) 封裝檢測:可以檢測封裝后的芯片的焊點質量、封裝材料的折射率分布等參數。

利用波前分析儀可以檢測封裝過程中產生的各種缺陷,如焊點空洞、引線偏移、芯片傾斜等。通過分析波前的相位和振幅變化,可以定位缺陷的位置和大小。波前分析儀可以評估封裝后的芯片質量,如焊點的可靠性、引線的連接強度等。通過測量波前的散射和反射情況,可以判斷封裝質量的優劣。過程監控:在封裝過程中,波前分析儀可以實時監測波前的變化,從而及時發現封裝過程中的異常情況。這有助于提高封裝的成功率和生產效率。波前分析儀在芯片封裝檢測中具有重要的應用價值,可以幫助工程師提高封裝質量、降低生產成本和提高生產效率。隨著封裝技術的不斷發展,波前分析儀的應用領域還將不斷拓展。

 

4) 光學元件檢測:可以檢測透鏡、反射鏡等光學元件的表面形貌和折射率分布。

波前分析儀可以測量透鏡或者透鏡組,平面反射鏡,球面反射鏡的表面面型、曲率半徑、折射率分布,透射波前變化,MTF傳遞曲線等參數,從而評估透鏡或者透鏡組的質量和性能。


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波前分析儀用于不同光學元器件的檢測

 

紫外波前分析儀指標參數:

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結論

紫外波前傳感器作為一種高精度的光學檢測設備,在半導體檢測領域具有廣闊的應用前景。隨著波前分析儀技術的不斷發展和成本的降低,相信紫外波前傳感器將會在半導體產業中發揮越來越重要的作用。

 

關于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產品專業代理商,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、光學元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設備安裝,培訓,硬件開發,軟件開發,系統集成等服務。

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