PNK真空系統(tǒng)用于真空蒸餾和真空干燥并回收溶劑是很理想的。特別是用真空控制器進(jìn)行流程控制使真空壓力可控，進(jìn)而使工作流程程序化，保證了準(zhǔn)確高效地進(jìn)行真空蒸餾，以及高回收率，節(jié)能，環(huán)保。整個系統(tǒng)在與氣體接觸的部位都做特氟龍(PTFE)涂層處理，所以能保證它的抗化學(xué)腐蝕能力。

真空系統(tǒng)的類型：

有帶控制器的自動控制和不帶控制器的手動控制兩大類；帶控制器的有三種：

（1）標(biāo)準(zhǔn)型，由電磁閥調(diào)節(jié)氣體流量達(dá)到控制真空壓力的目的。

（2）經(jīng)濟型，通過自動關(guān)閉和開啟馬達(dá)來達(dá)到控制真空壓力的目的。

（3）變頻控制型，由變頻馬達(dá)通過改變馬達(dá)轉(zhuǎn)速來達(dá)到更加精確地控制真空壓力的目的。

真空系統(tǒng)設(shè)計的基本原則：

1.PNK真空系統(tǒng)元件互相連接時，要做到管路短、流導(dǎo)大；導(dǎo)管直徑一般不小于泵入口直徑，特殊情況下例外。

2.機械泵和羅茨泵在工作時會產(chǎn)生振動，需要在人口管道上連接軟管減振，還可以裝規(guī)管檢漏。

3.真空系統(tǒng)建成后，應(yīng)便于檢漏。因此在每個封閉區(qū)段要設(shè)置一個規(guī)管座，便于安裝規(guī)管檢漏。

4.并聯(lián)泵可以提高抽速，串聯(lián)泵能提高極限真空度。并聯(lián)的兩個泵其極限真空度應(yīng)當(dāng)基本上在同一個數(shù)量級，如擴散泵與機械泵不能并聯(lián)。

5.當(dāng)采用擴散泵或者油增壓泵為主泵的抽真空系統(tǒng)時，其主泵的人口高真空閥蓋板應(yīng)蓋向主泵的入口，前級管道上的前級閥蓋板應(yīng)蓋向主泵的出口，預(yù)真空管道上的預(yù)真空閥蓋板應(yīng)蓋向爐子的出口。

6.采用羅茨泵為主泵的真空系統(tǒng)時，羅茨泵人口管道上的閥門蓋板應(yīng)蓋向爐子的出口。在羅茨泵與前級機械泵之間的管道上，可不設(shè)置真空閥。

7.在擴散泵與油增壓泵的入口管道上的高真空閥門上，一般應(yīng)設(shè)置一個真空繼電器，保護(hù)高真空閥不在大氣壓下開閥，防止破壞高真空閥的傳動機構(gòu)，又不使大氣進(jìn)入真空泵，防止油被氧化。

8.在羅茨泵的人口管道上，一般應(yīng)安置一個真宅繼電器，用來保護(hù)羅茨泵只在1.33×l03 Pa的壓力下才能啟動工作；若其壓力超過此值時，則羅茨泵自動斷電，停止工作。

9.在機械泵的入口管道上要設(shè)置一個截止閥和一個充氣的閥。當(dāng)機械泵停止工作時，截止閥立即關(guān)閉，放氣閥立即打開，向機械泵通人大氣。這里的截止閥、放氣閥和機械泵的電源連在一起并互相連鎖。

10.測量真空度儀器的規(guī)管座，一般不設(shè)置在爐室殼體七，而設(shè)置在接真空系統(tǒng)出口管道上。安裝在規(guī)管座上的規(guī)管應(yīng)上下直立，不得橫放。

11.真空系統(tǒng)上各元件的連接要有互換性，即應(yīng)選用標(biāo)準(zhǔn)尺寸的元件。

12.對于以油擴散泵和油增壓泵為主泵的真率系統(tǒng)，在這兩種主泵的出口管道上應(yīng)設(shè)置維持真空泵，可以節(jié)約節(jié)能。

保養(yǎng)維護(hù)：

1.定期檢查真空泵，做好真空泵的日常維護(hù)工作。

2.定期清理及更換真空泵進(jìn)氣口真空過濾器濾芯。

3.定期檢查電氣控制。

4.定期檢查真空管路及真空罐的密封情況。

降低真空系統(tǒng)漏氣率的措施：

1.結(jié)構(gòu)

真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。

（1）盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

（2）抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。

（3）認(rèn)真設(shè)計真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通，避免氣路堵塞。

（4）打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。

（5）盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。

2.密封形式的選擇

密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設(shè)備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進(jìn)行移動密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。

密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度最高可達(dá)2300℃，密封部位進(jìn)行水冷后，其溫度在80℃左右，個別處溫度可達(dá)100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。

用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。

3.靜密封結(jié)構(gòu)的選擇

各種真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，要對靜密封結(jié)構(gòu)進(jìn)行認(rèn)真設(shè)計，以達(dá)到理想的效果。

對靜密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計，主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。

無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽，其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面，而其側(cè)面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時，為了消除殘留氣體，在存在殘留氣體處設(shè)計了貫通孔，使系統(tǒng)內(nèi)部各處暢通無阻。