目錄:上海西努光學科技有限公司>>日立超聲波影像裝置>>超聲波影像裝置>> FineSAT HR超聲波影像裝置
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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在高分辨率、受好評的FineSAT Ⅲ的基礎上，進一步提高了分辨率。
為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質中的衰減越來越大，信噪比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實用的*高頻率。
300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅限于5μm左右寬度的線型識別，對于正在應用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細結構體的檢查時，可能無法適用。
FineSAT HR開發了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類超聲波檢查裝置的ji限。
| FS100ⅢHR | FS200ⅢHR | FS300ⅢHR | |
| 支持探頭頻率(MHz) | 5～75 | 5～140 | 5～300 |
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