日立掃描電鏡是利用精細聚焦的電子束照射在樣品表面，電子束與樣品相互作用產生各種信號，其中包括二次電子、背散射電子、特征X射線等不同能量的光子，這些信號經相應的探測器接收，用于研究各種材料的微觀形貌;配上能譜儀、波譜儀等附件，可對材料元素成分進行分析。
日立掃描電鏡的附件常見的是X射線能譜儀，在各種材料的分析中起著*的作用。
日立掃描電鏡結合能譜儀使用，能進行材料微區元素種類與含量的分析。其工作原理是:各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量E，能能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。
能譜定量分析的準確性與樣品的制樣過程，樣品的導電性，元素的含量以及元素的原子序數有關。因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（數據庫及標準)，我們無法消除，也有一些人為因素產生的誤差(操作方法)，這些因素都會導致能譜定量不準確。
那么，掃描電鏡除了可以利用能譜分析能夠根據襯度變化判斷元素在不同位置的富集程度，還能判斷微量元素的分布。這里我還要交給大家一個小技巧：能譜使用前要校準，要使樣品平整，分析區域均質、無污染，還要讓樣品導電性、導熱性良好。
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