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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,能源,電子,制藥 |
產品品牌：Semiconsoft
產品型號：MProbe NIR
采用近紅外光譜(NIR)的測厚儀可以用于測量一些可見光和紫外光無法使用的應用領域，比如在可見光范圍內有吸收的太陽能薄膜(CIGS, CdTe)可以快速的測量。
測量范圍: 100 nm -200um
波長范圍: 900 nm -2500 nm
適用于實時在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
測量指標：薄膜厚度，光學常數
界面友好: 一鍵式測量和分析。
實用的工具：曲線擬合和靈敏度分析，背景和變形校正，連接層和材料，多樣品測量，動態測量和產線批量處理。
（MProble NIR薄膜測厚儀系統示 ）
案例1，73nm SiN氮化硅薄膜的測量
硅晶圓反射率，測量時間10ms
使用Tauc-Lorentz模型，測量SiN薄膜的n和k值
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