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數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀

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更新時(shí)間:2020-06-01 11:04:14瀏覽次數(shù):2375

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數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀采用外差技術(shù),對(duì)環(huán)境干擾不敏感,先天具有抗干擾性好,工作穩(wěn)定的特點(diǎn),適合在車間生產(chǎn)環(huán)境中使用。

詳細(xì)介紹

數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀

數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測(cè),是高精度線性位移測(cè)量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)的高效率量測(cè)工具。

 系統(tǒng)組成:
    雙頻激光頭及附件
     環(huán)境補(bǔ)償單元
     測(cè)量軟件、 分析軟件
     線性位移測(cè)量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測(cè)量鏡組等)
     光學(xué)調(diào)整附件
     三腳架及其他測(cè)量附件

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):    

    采用雙頻激光,測(cè)量精度高
    緊湊設(shè)計(jì),適合外出服務(wù)攜帶
    抗*力強(qiáng),大型機(jī)床長(zhǎng)距離檢測(cè)時(shí)也能保證穩(wěn)定精準(zhǔn)
    自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償,不同溫度、濕度、壓力環(huán)境中也能精確檢測(cè)
    符合測(cè)校國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量分析軟件
    自動(dòng)生成測(cè)量數(shù)據(jù)報(bào)表和誤差校正補(bǔ)償文件。
    典型頻差6±1MHz,測(cè)速高達(dá)2m/s。

數(shù)控機(jī)床檢測(cè)必要性:

首先,新機(jī)床出廠前都要進(jìn)行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測(cè),現(xiàn)在大多使用激光干涉儀進(jìn)行。

其次,機(jī)床使用一段時(shí)間后,由于絲杠的磨損和其他原因,精度會(huì)逐漸喪失,這時(shí)需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)。

后,激光干涉儀還可以進(jìn)行其他項(xiàng)目的檢測(cè),例如直線度,垂直度,角度等。

技術(shù)參數(shù):

雙頻激光頻差

6±1MHz

激光穩(wěn)頻精度

±0.03ppm

真空波長(zhǎng)

632.99nm

激光功率

>0.5mW

激光光束直徑

6mm

波長(zhǎng)補(bǔ)償精度

±0.4ppm

預(yù)熱時(shí)間

<10分鐘

雙頻激光頭尺寸(重量)

230mmx125mmx80mm(2.60kg)

測(cè)量長(zhǎng)度范圍

0-40m

測(cè)量精度

(使用 LC-2000環(huán)境補(bǔ)償器)

±0.4ppm*

(±0.4μm/m)*

精度范圍

0-40

分辨率

1nm

測(cè)量速度

2m/s

系統(tǒng)測(cè)量能力

線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度

接口

內(nèi)置 USB 通訊端口,無(wú)需單獨(dú)接口

觸發(fā)脈沖輸入

動(dòng)態(tài)采集頻率

100Hz-40 kHz

 

*注:精度值不包括將材料溫度歸一化為20℃時(shí)與其有關(guān)的誤差

 

 

 

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